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详细介绍
净化材料：金属、吸气剂、其它
● 不同条件下，可去除可惰性气体和特殊气体中*1PPB以下的水分、氧气、氢化物等杂质。
● 内置的初步过滤用的滤材全部标准使用SUS316L，不会引起腐蚀产生生颗粒等化学反应。
● HBr、HCl等强腐蚀性特殊气体中所含水分，*100PPB（分析装置的检测界限）以下可以去除。
● 小型、轻量的GP-05型和过滤器同样大小（长度84mm），仅重120g。
● 根据不同气体类型，350℃－400℃的加热再激活处理可在使用寿命期限内多次重复使用。
规格：
| 张家港普瑞伦半导体设备有限公司 |
| 参考价 | 面议 |
更新时间：2021-03-26 18:21:28浏览次数：317
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净化材料：金属、吸气剂、其它
● 不同条件下，可去除可惰性气体和特殊气体中*1PPB以下的水分、氧气、氢化物等杂质。
● 内置的初步过滤用的滤材全部标准使用SUS316L，不会引起腐蚀产生生颗粒等化学反应。
● HBr、HCl等强腐蚀性特殊气体中所含水分，*100PPB（分析装置的检测界限）以下可以去除。
● 小型、轻量的GP-05型和过滤器同样大小（长度84mm），仅重120g。
● 根据不同气体类型，350℃－400℃的加热再激活处理可在使用寿命期限内多次重复使用。
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