EPIC离子/分子分析质谱仪-北京英格海德分析技术有限公司

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产品简介

A system for UHV analysis of neutrals, radicals and ions. Measures the ions, neutrals, and partial pressures in UHV/XHV.

EPIC离子/分子分析质谱仪(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)是带脉冲离子计数和四级杆偏压控制的三级过滤四极质谱仪，用于高精密科学分析，过程研究以及中性粒子、自由基、正负离子的UHV分析。

EPIC离子/分子分析质谱仪可增加能量过滤器、Bessel Box能量分析器或45°扇形能量分析器，升级至Hiden的Plasma/ SIMS系列EQP，EQS，PSM 和Maxim。

·6、9、12 mm 直径的四极杆可选

·±100 eV离子能量分布，1000 eV可选

·离子源控制，以实现软离子化及表观电势质谱

·脉冲离子计数器，连续7个数量级动态范围，Faraday 选项为5x10¹⁰

·一级过滤处增加射频，增强抗污染物能力

·信号选通分辨率0.1μs，用于能量、质量分布随时间变化或TOF研究中

·程序升温脱附时，温度数值同步显示

·标配UHV罩，液氮冷却罩可选

·MASsoft专业软件控制

·可升级至Plasma/ SIMS 配置

·质量数范围： 1～300 amu（标准配置）

500、1000、2500 amu（选配）

·测量速度： 500 points/s

·分辨率： 0.1% Valley、1% Valley

·动态范围： 10⁷

·检测分压： 5 X 10^-15 mbar ，1X10^-16 mbar

·离子能量： ±100eV（标准配置）

±1000eV（选配）

·信号选通分辨率：0.1µs

·稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5%

3F Series Mass Spectrometers (0.68MB)

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)