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BS-80011BPG产生高密度等离子体的内置型等离子源

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更新时间:2021-07-16 21:06:30浏览次数:142

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产品简介

日本JEOL BS-80011BPG产生高密度等离子体的内置型等离子源,安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术(离子镀),能提高光学薄膜、保护膜、功能膜等的薄膜特性。另外,还可以用作等离子处理如对清洗基板和表面改性也很有效。

详细介绍

BS-80011BPG产生高密度等离子体的内置型等离子源

安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术(离子镀),能提高光学薄膜、保护膜、功能膜等的薄膜特性。另外,还可以用作等离子处理如对清洗基板和表面改性也很有效。

· 产品规格

放电输出

3.2kW (160V, 20A)

辅助输出功率

2kW (200V, 10A)

工作压力

8×10-3 ~ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 气氛)

放电气体(Ar)

8 ~ 20mL/分

适用控制电源

BS-92040CPPC

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