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详细介绍
日本电子JEOL大功率电子枪・电源EBG-300UA，JEBG-1000UB，JEBG-3000UB
JEBG系列大功率电子枪是用来在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源，能在宽幅塑料及大面积玻璃基板上持续、高速率地镀膜，还可应用于电子束熔炼，用于高熔点金属铸锭的制备及精炼。
产品规格：
型号 | EBG-300UA | JEBG-1000UB | JEBG-3000UB |
输出功率 | 30kW (20kV, 1.5A) | 100kW (30kV, 3.4A) | 300kW (40kV, 7.5A) |
偏转角 | Max. ±30° | ||
扫描范围 | X, Y 轴 | ||
扫描频率 | 300Hz | 200Hz | 200Hz (300Hz: 选配) |
适用电源 | ST-30BE2 | JST-100C | JST-300CHR |
产品特点：
JEBG系列大功率电子枪是用来在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源，能在宽幅塑料及大面积玻璃基板上持续、高速率地镀膜，还可应用于电子束熔炼，用于高熔点金属铸锭的制备及精炼。
电子束能大范围地快速扫描，通过专用的控制装置和软件，能生成各种电子束照射图形和区域。由于能够在各个照射位置上设定扫描、停留时间、输出功率及电子束形状，因而能够控制熔融面和膜厚分布。
用途
· 真空蒸镀
阻隔膜、保护膜、电极膜、导电膜、磁性膜等薄膜的形成。
· 真空熔解
Ti、Ta、Nb、 Mo等高熔点金属铸锭的制备及精炼。
提炼太阳能电池的多晶硅
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