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KSI i-Wafer晶圆缺陷检测系统

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更新时间:2021-07-20 20:27:42浏览次数:264

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产品简介

KSI i-Wafer晶圆缺陷检测系统,是一款仪器,操作人员可选择接收/拒绝标准,手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下,晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检测

详细介绍

德国KSI-凯斯安i-Wafer型
全自动晶圆超声波缺陷检测系统

i-Wafer系列是一款仪器,操作人员可选择接收/拒绝标准,手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下,晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检测


新型KSI i-Wafer晶圆缺陷检测系统的主要特点:
- 扫描速度达2000mm/s
- 新型换能器
- 高质画面
- 同时使用1只、2只、4只换能器提高效能
- 能发现只有几微米的缺陷

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