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ECHO LS超声波扫描显微镜

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更新时间:2021-07-22 20:33:36浏览次数:18

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产品简介

美Sonix超声波扫描显微镜 ECHO LS,可检测最小 0.05 微米的缺陷,它是一款的检测 bump, 堆叠芯片(三维封装),复杂 flipchip 和传统塑封封装的工具.

详细介绍

美Sonix超声波扫描显微镜

型号:ECHO LS

Sonix 非破坏超声波扫描是一款提高生产、简化测试、改进生产率和提高产能的生产和实验室设备。无论是失效分析实验室的详细分析还是生产线检测,Sonix 都能提供一个易于操作的软件解决方案。

﹡WinIC Lab (详细失效分析工具)

﹡WinIC Production (易于操作的、新型的生产工具,专门用于生产的大量分析)

Sonix ECHO LS 可检测最小 0.05 微米的缺陷,它是一款的检测 bump, 堆叠芯片(三维封装),复杂 flipchip 和传统塑封封装的工具.

使用 ECHO LS 生产软件改进生产产能和提高生产率:

。很容易设定和使用

。监测生产质量

。通过/失效存储

。签定零件

Sonix 探头的频率范围从 10MHz 到 MHz,为能适用于所有类型的应用和材料设计

其它主要特性

。节省洁净室空间

。整体焊接结构(改进平台的稳定性)

。轻便(移动方便)

。可选反射与透射同时进行(快速侦测缺陷)

。减低高度,节省成本

。大面积的扫描区域(可放多个 tray盘或大样品)

。倾斜缸底(为能彻底排水)

。Z 轴探头移动(替代 tray 架子移动)

。可抽出式架子(可摆放夹具和样品)

。设计紧凑(可节省维护成本)

。符合 CE, SEMI S2, NRTL

。在安全盖、槽及门上有静电涂层

规格:

X 轴

定位装置:线性伺服马达,线性伺服马达

精度高,无磨损,无需定期做保养校正

扫描速度:1000mm/秒

马达精度:+/- 0.5 微米

线性光栅尺精度:0.5 微米

扫描面积:350mm

Y 轴

定位装置:步进马达

精度: 0.25 微米

行程: 350mm

Z 轴

定位装置:步进马达

精度 :0.25 微米

行程: 50mm

夹具

托盘夹具,扫描平台以拖住整个 tray 扫描

机身尺寸和重量

·31 inches X 31 inches X 48 inches

·or 76.66 cm X 76.66 cm X 121.92 cm

·360lbs. or 163.5kg

过滤系统

·循环泵和 5 微米过滤器,有自动水循环系统,可把水中的杂质过滤,大大减少杂质对扫描结果的影响

超声波工具

·DPR500 接接器,带 L2/H4 放大器

·可选 U4 放大器

显示器 . 双显示器

样品槽:590mm×550mm×120mm

超声波扫描频率:1MHz~500MHz

传感器频率选择:5MHz~300MHz

对于塑封器件,用到75MHz,再高频率无法穿透塑封料

脉冲发生器前级放大器:Pluse2

WinIC 软件

-TAMI:一次扫描可同时获得最多 100 张 C 超扫描图像,在需要时,可自动调节焦距,可看到 IC 所有的分界面,无需重扫,所有的分界面成像比操作者解释波形更直观

-ICEBERG

-WinIC Pro (增国功能和分析)

-WinIC Offline (允许在手提电脑上分做分析)

-Waveform Simulator/Beam Emulator (容易设置)

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