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详细介绍
紫外光刻胶-薄胶
详细介绍：
| 类型 | 光刻胶型号 | 适用光谱 | 厚度范围/um | 分辨率 | 适用工艺 |
紫外光刻胶-薄胶 | S1800系列 | g-Line, | 0.5-3.5 | 0.5um | 正性光刻胶，稳定性好；适用于分辨率要求较高的光刻工艺 |
AZ5214 | g/h/i-Line | 1-2um | 0.5um | 反转胶 | |
BCI-3511 | i-Line | 0.5-2 | 0.5um | 正性i线光刻胶，适用于各类接触式光刻机（mask aligner）、stepper | |
SPR 955 | i-Line | 0.5-3.5 | 0.35um | 正性i线光刻胶，适用于分辨率要求较高的湿法腐蚀和干法刻蚀 | |
AZ 1500 | g/h/i-Line | 0.5-5 | 1um | 正性光刻胶，广泛应用于半导体制造 |
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