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URE-2000S/A8 型紫外双面光刻机

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更新时间:2021-07-22 21:20:54浏览次数:18

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产品简介

URE-2000S/A8 型紫外双面光刻机, 曝光面积:8 英寸, 曝光波长:365nm: 15mW/cm,405nm:15-30mW/cm2, 对准精度:2 m (双面,片厚 0.8mm)0.8 m (单面)

详细介绍

URE-2000S/A8 型紫外双面光刻机

主要技术参数

。曝光面积:8 英寸

。曝光波长:365nm: 15mW/cm,405nm:15-30mW/cm2

。分辨力:1 μm

。对准精度:±2 μm (双面,片厚 0.8mm)±0.8 μm (单面)

。掩模尺寸:4 英寸、5 英寸,7 英寸,9 英寸

。样片尺寸:3 英寸、4 英寸,6 英寸,8 英寸,厚度 0.1mm—2mm

。曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

。调平接触压力通过传感器保证重复

。 数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口,也具备接近模块接口

。正面对准采用双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍

物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍

。底面面对准:采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像,物镜轴距范围 10mm-200mm

。照明不均匀性:5%(Ф200mm 范围)

。掩模相对于样片运动行程:

X:±5mm; Y:±5mm; Thelta:±6 度

。胶厚:500 μm (SU8 胶,用户提供检测条件)

。光源平行性:2°

。具有循环水冷却系统

。汞灯功率:1000W(直流,进口)

外形尺寸:1400mm(长)x1200mm(宽) x2000mm(高)

设备构成与配置明细

设备主要由均匀照明曝光系统(曝光头)、对准工件台系统、双目双视场显微镜系统、底面 CCD 对准系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。

(1)曝光头系统包括:

。冷光椭球镜

。1000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇.

。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 余个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

(2)对准工件台系统包括:

。掩模样片相对运动台(XY)

。转动台(θ)

。样片自动调平机构

。样片调焦机构承片台 4 个 (3 英寸、4 英寸,6 英寸,8 英寸)

。掩模架 4 个 (4 英寸、5 英寸,7 英寸,9 英寸)

。掩模翻转及旋转机构

(3)对准显微镜(可选择带 CCD 型,目镜和监视器可同时观测)系统包括:

。LED 照明及配套电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)

。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)

。CCD 及光学成像系统

。XYZ 底面对准工件台(两套)

(4)底面 CCD 对准系统

。LED 照明及配套电源

。CCD 及光学成像系统(2 套)

。数据采集卡

(5)电控系统

。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统(22 英寸宽屏液晶显示器)

(6)气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

(7)其他附件(选配)

。真空泵一台(无油静音型)

。空压机一台(无油静音型)

。恒温循环水冷却系统

。管道

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