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URE-2000/17 型紫外单面光刻机(台式)

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更新时间:2021-07-22 21:22:09浏览次数:24

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产品简介

URE-2000/17 型紫外单面光刻机(台式),曝光面积:4 英寸,分辨力:1.5m(胶厚 2 m 的正胶),对准精度:1m

详细介绍

URE-2000/17 型紫外单面光刻机(台式)

技术参数

。曝光面积:4 英寸

。曝光波长:365nm

。分辨力:1.5μm(胶厚 2 m 的正胶)

。对准精度:±1μm

。掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm

。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。样片尺寸:直径 Ф 15mm-- Ф 100mm,厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)

。曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

。照明不均匀性: 5%(Ф 100mm 范围)

。双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍

物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍

。掩模相对于样片运动行程:

X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。汞灯功率:200W(直流)

。曝光能量密度:6mW/cm

2.外形尺寸:650mm(长)x600mm(宽) x900mm(高)36

3.配置

(1)曝光头

。200W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。光学系统

。冷却风扇

(2)对准工件台

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,手动

。样片调焦机构,手动

。承片台 3 个(Ф 50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm )

。掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)

。掩模抽拉式上下机构

(3)对准显微镜

。光源(配备品 2 只)、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)

。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)

。CCD(中国台湾)

。21 寸液晶显示器

(4)电控系统

。汞灯触发电源(200W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制机箱

(5)气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

(6)其他附件

。真空泵一台

。管道

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