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详细介绍
名 称：高精密匀胶机
型 号：EZ4
原产地：
应 用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
产品概述：
EZ4匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。
EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。
l 支持wafer尺寸：碎片（小于1cm）至100mm（4"圆晶）
l 速度可调范围：100-10000rpm
l 加速度可调范围：100-10000rpm/s
l 转速分辨率：1rpm
l 转速精度：＜±5rpm
l 可编程5组5步程序
l 宽电压输入：AC100-230V
产品特点：
l 75W 直流无刷电机，单片机控制
l 高清晰文本显示器
l 可单步和多步匀胶操作
l PP耐腐蚀内腔，可更换
l 铝合金阳极氧化外壳，美观大方
l 耐溶剂PC透明盖
l 多角度定位铰链设计
l HDPE真空吸盘
产品外型尺寸：
250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)
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