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详细介绍
随着科技的日新月异，产品的规格要求越来越精细，使得量测工具必須能配合产品跟着提高精度，一般的量測仪器已无法满足工业界量測上的需求。 VMR-H3030 以超高精密度和多样性功能提供給您的量测品质。
●NIKON的双Y轴光学尺，可校正载物台移动时可能会造成的扭力变形，并改良光学尺的刻度。
●为了避免震动影响到量测结果的正确性,VMR-H3030改良了机体的结构，增加了抗动性以减低震动对量测所造成的影响。
●*的载物台的设计，对于XY方向移动所可能产生的额外应力，因而导致载物台不在原定光学尺的轨道上滑动，使得量测数据产生误差的六大因素，进行矫正预防措施。
对于生产线扩大，正在评估新的检验设备的评估者而言，是否要购买专用机或是泛用机？是考虑新设备时必要的决定。若是购买专用机，不仅价格高昂，而功能上却不具延伸性，无法面面俱到。在种种的因素考虑下，让很多评估者陷入两难，是否需要购买单一用途且价格不俗的专用机？还是购买多用途但相对精度不高的影像量测机？对于有这样疑问的采购者，VMR-H3030为这样的难题找到了一举两得的解决方案。
适用产业：研究实验室、高精度模具、光罩微机电系统、晶圆凸点 … 等。
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