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低温泵的抽气原理介绍

来源:南北仪器有限公司   2022年11月19日 09:33  

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率大、压力低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

抽气原理

在低温泵内设有由液氦制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结,并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的压力,从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝:气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上,其平衡压力基本于冷凝物的蒸气压。抽空气时,冷板温度须低于 25K;抽时,冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②低温吸附:气体分子以一个单分子层厚 ( 厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力,用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集:在抽气温度下不能冷凝的气体分子,被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。

一般说来,压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时,水的蒸气压已低于帕。温度为20K时,除和氢外,其他气体的蒸气压也低于帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同,泵的压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器,低温板为20K时,泵的压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。

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