本书分十二章介绍了X射线荧光光谱分析的原理，仪器主要部件，定性与定量分析方法，基体校正与数据处理方法，样品制备技术，具有共性的仪器校正方法、日常维护知识和故障判断原则等。内容丰富、新颖、翔实，在探测器技术、基体校正、样品制备、仪器维护等章节具有特色。
本书可供X射线荧光光谱分析工作者学习参考，同时也可作为高等学校与仪器分析相关专业师生的参考书。

第一章绪论1
第一节X射线荧光光谱的产生及其特点1
第二节X射线荧光分析技术的新应用1
一、在生物、生命及环境领域中的应用1
二、在材料及毒性物品监测中的应用2
第三节X射线荧光光谱仪研制进展2
参考文献3
第二章基本原理4
第一节特征X射线的产生与特性4
一、特征X射线4
二、特征谱线系5
三、谱线相对强度8
四、荧光产额8
第二节X射线吸收9
一、X射线衰减9
二、吸收边9
三、吸收跃变10
四、质量衰减系数的计算10
第三节X射线散射11
一、相干散射11
二、非相干散射11
第四节X射线荧光光谱分析原理13
第五节X射线衍射分析13
参考文献14
第三章激发源15
第一节常规X射线光管15
一、光管结构与工作原理15
二、连续X射线谱16
三、特征X射线谱16
四、光管特性17
第二节液体金属阳极X射线光管18
第三节冷X射线光管19
第四节单色与选择激发19
一、滤光片19
二、二次靶20
第五节同位素源20
第六节同步辐射光源与粒子激发21
第七节聚束毛细管X射线透镜22
第八节X射线激光光源23
参考文献24
第四章探测器25
第一节波长色散探测器25
一、流气式气体正比计数器25
二、NaI闪烁计数器26
三、波长色散探测器的逃逸峰27
第二节能量探测器28
一、能量探测原理28
二、能量探测器组成与特性28
三、能量探测器的逃逸峰30
第三节新型能量探测器30
一、Ge探测器30
二、SiPIN探测器31
三、Si漂移探测器（SDD）34
四、电耦合阵列探测器（CDD）35
五、超导跃变微热量感应器（TES）35
六、超导隧道结探测器（STJ）36
七、CdZnTe探测器37
八、钻石探测器（CVDD）39
九、无定形硅探测器（ASi）40
第四节各种探测器性能比较41
一、波长色散与能量色散能力41
二、探测器分辨率比较41
三、探测器的选用42
参考文献44
第五章X荧光光谱仪47
第一节波长色散X射线荧光光谱仪47
一、X射线光管、探测器与光谱仪结构47
二、分光晶体及分辨率48
三、脉冲放大器和脉高分析器48
第二节能量色散X射线荧光光谱仪50
第三节同位素源激发X射线荧光光谱仪51
第四节偏振激发X射线荧光光谱仪52
第五节全反射X射线荧光光谱仪53
第六节同步辐射X射线荧光光谱仪55
第七节聚束毛细管透镜微束XRF光谱仪56
参考文献57
第六章定性与定量分析方法58
第一节定性分析58
第二节定量分析59
一、获取谱峰净强度60
二、干扰校正60
三、浓度计算61
第三节数学校正法62
第四节实验校正方法62
一、标准化62
二、内标法63
三、标准添加法64
四、散射线内标法64
第五节实验校正实例——散射线校正方法64
一、散射效应与利用64
二、滤光片对Compton峰和分析谱线的影响65
三、准直器直径对谱线的影响67
四、Compton峰位随滤光片材料的原子序数增加而产生漂移68
参考文献69
第七章基本校正71
第一节基本参数法72
一、理论荧光强度72
二、相关基本参数计算75
三、基本参数法76
第二节理论校正系数77
一、基本影响系数77
二、理论校正系数81
三、系数变换84
参考文献85
第八章分析误差和统计不确定87
第一节分析误差和分布函数87
一、分析误差87
二、分布函数88
第二节计数统计学88
第三节灵敏度、检出限及XRF中的误差来源89
一、灵敏度和检出限89
二、XRF中的误差来源90
第四节不确定度及不确定度计算90
一、测量不确定度90
二、统计不确定度91
三、误差传递与不确定度91
四、不确定度计算式92
五、平均值的不确定度