详细介绍
一、产品用途
大平台工业显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为高级工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。也广泛的应用于透明,半透明或不透明物质,比如金属陶瓷、电子芯片、印刷电路、LCD基板、薄膜、纤维、颗粒状物体、镀层等材料表面的结构、痕迹,都能有很好的成像效果
二、产品特点
1.采用了UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜成像技术。
2.拓展了物镜的复用技术,无限远物镜与所有观察法相兼容包括明暗视野法、偏光法,并在每一观察法中均提供高清晰的图像质量。
3.采用非球面Kohler照明,增加观察亮度。
4.超大视野目镜WF10X(Φ25),配置长工作距离明暗场金相物镜。三、技术参数
1.目镜
类 型
放大倍数
视场(mm)
超大视场目镜
10X
Φ25
2. 物镜
类 型
放大倍数
数值孔径NA
工作距离mm
明/暗场
无限远长工作距离明暗场物镜(5组)
L5X BD
0.10
29.4
明暗场共用
L10X BD
0.25
16.00
明暗场共用
L20X BD
0.40
10.6
明暗场共用
L50X BD
0.55
5.1
明暗场共用
L100X BD
0.80
3.0
明暗场共用
3. 转换器:五孔
4.工作台尺寸:311mm*352mm,移动范围:250mm×250mm
5.调焦:粗微动同轴,范围36mm,微动0.002mm
6.光源:垂直照明,带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/100W,AC85V-230V亮度可调节
7.DIC装置:偏光装置、明暗场转换
8.适配镜:直径:59mm,放大倍率:0.5倍 ,内调焦距:0~3mm 调焦后可锁紧
9.摄像机:高速HDMI接口;白平衡:自动/手动 一键白平衡, 帧率:60fps带图像测量和拍摄功能
10.软件功能:图像显示、图像拍摄、录像和图象处理功能
四、仪器成套性
1.显微镜主体:1台 2.目镜筒:1只 3.10X目镜:1对
4.无限远长工作距离明暗场物镜5X、10X、20X、50X:各1只
5. 0.5倍适配镜:1只
6. HDMI 2K测量型CCD:1套 7.21.5英寸高清液晶显示器1台
7.产品文件:1套-
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