洁净室检测-静压差测 返回列表页

˜.静压差的测定要求在洁净区内所有的门全部关闭的情况下进行。

˜.测洁净区与室外时，注意刮风和朝向的影响。

˜.在洁净室平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外。

洁净室检测-静压差测试 使用仪器

压差计灵敏度应小于 1 Pa。

˜静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行，有排风时，应在最大排风量条件下进行，并宜从平面上最里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差，直至测出洁净区与非洁净区、室外环境(或向室外开口的房间)之间的压差。

˜对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口0．6m处的室内侧工作面高度的粒子数

˜有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室，还应测定开口处的流速和流向

注意事项

1 压差值应符合被测对象压差控制标准的要求。
  2 洁净度为5级或更高的单向流洁净室，开门状态下的出入口的室内侧0．6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。
  3 有不可关闭开口两边的洁净室，以开口风速代替两室压差，开口处从高级别向低级别的风速或按设计、工艺要求从一室流向另一室的风速应符合设计要求。当设计无明确要求时，不应小于0．25m／s。该室与其他相邻环境的压差仍应符合相关规定。
  4 当被测对象没有压差控制标准时，其结果应符合下列规定：

˜不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa

˜ 洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa

˜ 洁净区与室外的压差不应小于10Pa