详细介绍
001,002和003A 型质量流量控制阀门都是常闭的比例控制阀门,可应用在从 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮气量程中。当它与质量流量计结合使用时,就可构成一个闭合回路控制系统 , 该系统允许单独组件配置(流量计和控制阀门)。
技术参数
流量范围:从 0-5SCCM 到 0-500SLPM
环境和操作温度 :-10 ~ 70 ℃( 14 ~ 158 ℉)
操作压力:1000PSIG ( 6.9 MPa ) ,具体请参考表一
安装方向:对位置不敏感
额定工作电压:4-11VDC ( 24VDC )
额定工作电流:150mADC ( 275 mADC )
阀线圈电阻:80 ± 4 Ω( 001型和003A型) ; 63 ± 3 Ω( 002型)
结构材质
主体:316 不锈钢
孔:316 不锈钢
阀组件(接液):001 型: 302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik?1802
002 型:302SS , 316SS , Sandvik1802
003A 型:302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik1802
密封材质:001 型: Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton
002 型:Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton
003A 型:Buna N , Viton
* 注:上述流量范围反映的是氮气标定下产生的最小流量和流量,可采用其它介质的流量范围,当操作参数有疑问时为了保证选型,请咨询厂家。
技术参数
流量范围:从 0-5SCCM 到 0-500SLPM
环境和操作温度 :-10 ~ 70 ℃( 14 ~ 158 ℉)
操作压力:1000PSIG ( 6.9 MPa ) ,具体请参考表一
安装方向:对位置不敏感
额定工作电压:4-11VDC ( 24VDC )
额定工作电流:150mADC ( 275 mADC )
阀线圈电阻:80 ± 4 Ω( 001型和003A型) ; 63 ± 3 Ω( 002型)
结构材质
主体:316 不锈钢
孔:316 不锈钢
阀组件(接液):001 型: 302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik?1802
002 型:302SS , 316SS , Sandvik1802
003A 型:302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik1802
密封材质:001 型: Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton
002 型:Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton
003A 型:Buna N , Viton
* 注:上述流量范围反映的是氮气标定下产生的最小流量和流量,可采用其它介质的流量范围,当操作参数有疑问时为了保证选型,请咨询厂家。