-
单温区PECVD系统 详细摘要: PECVD:是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反...
产品型号: 所在地:济南市 更新时间:2023-10-20 参考价: 面议 在线留言
济南鲁热仪器有限公司 |
详细摘要: PECVD:是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反...
产品型号: 所在地:济南市 更新时间:2023-10-20 参考价: 面议 在线留言