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上海维逸机电设备有限公司
主营产品： 倾角传感器、加速度传感器、压力传感器、气体传感器、温度传感器、位置传感器、力传感器、磁阻传感器等及相关技术服务。 |
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上海维逸机电设备有限公司
主营产品： 倾角传感器、加速度传感器、压力传感器、气体传感器、温度传感器、位置传感器、力传感器、磁阻传感器等及相关技术服务。 |
| 参考价 | 面议 |
| | zui小 | 典型 | zui大 | 单位 |
| 热功率P（Rm1+Rm2）： | — | — | 30 | mW |
| 测量温度Tm | — | — | 180 | °C |
| 环境温度 | -20 | — | +85 | °C |
| 气体压力（1） | — | — | 200 | bar |
| | zui小 | 典型 | zui大 | 单位 |
| 电阻，Rm1，Rm2（Tm=25°C） | 92 | 100 | 115 | ? |
| 电阻，Rt1，Rt2 | 220 | 240 | 275 | ? |
| 商，Rtx / （ Rm1+Rm2 ），x∈{1,2} | 1.13 | 1.2 | 1.27 | 1 |
| 阻抗差，Rm1 - Rm2 | -2.0 | — | +2.0 | ? |
| α=温度系数，（ Rm, Rt ） | 20 - 100°C | 4.8（2） | 5.5 | 5.9 | 10-3·K-1 |
| G =几何系数（3） | — | 3.6 | — | mm |
| τm =膜的热时间常数 | — | <5 | — | ms |
| τdiffusion =气体交换的时间常数 | — | <100 | — | ms |
| 漂移（ Rxy ） | x∈{m,t} ; y∈{1,2} | — | 0.001 | 0.01 | %/week |
| 散射结构的体积 | — | 0.2 | — | mm3 |
| 保持干净的周围环境空间大小 | — | 100 | — | mm3 |
| 基础材料 | 硅,采用蚀刻技术获得微观结构 | |||
| 尺寸结构: 包括底座 不包括底座 | 3mm × 3mm × 1mm | |||
| 13mm Ø × 15.4mm | ||||
| 暴露在空气中的材料 | Si, SiOxNy, 金, 环氧材料 | |||
