半导体参数测试仪与MM探针台

功能：

可提供直流电压/电流输出，直流电压/电流测量和交流信号输出以及阻抗测量

主要技术指标

探针台：

1.探针台主机：卡盘XY运动范围200mm*200mm,Z轴运动范围25mm

2.丝杆轴承确保高精度移动，分辨率3.5um

3.针座：精度0.7um

4.加热台: 温度范围室温-400℃

 半导体参数测试仪与MM探针台

半导体参数测试仪

1.直流I-V测试：

具有4路SMU，其中2路中等功率SMU，2路高分辨率SMU, 可同时测量zui小电压分辨率0.5μV、zui小电流分辨率0.1fA

2.C-V测试：频率1KHz-5MHz；偏置电压：±25V；测量精度±0.2 %

3.可实现C-V和I-V测量间自动切换，不会影响测量精度

4.脉冲IV：

提供两路快速IV/脉冲输出，具有任意波形产生功能

zui小脉冲宽度：50ns；脉冲电平范围：-5V~+5V，+/-10V~0V (50 Ω负载)；电压测量精度：±0.1%读值, ±0.1% 量程；电流测量精度：±0.1% 读值, ± 0.2% 量程

主要用途

    支持二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量，准静态和中频电容-电压(C-V)测量，时域测量等。