薄膜应力测试仪

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公司名称北京飞凯曼科技有限公司
品牌
型号FST150
所在地北京市
厂商性质代理商
更新时间2017/5/9 6:45:25
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薄膜应力测试仪薄膜应力仪薄膜残余应力

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公司介绍主营产品

北京飞凯曼科技有限公司为多家国内外高科技仪器厂家在中国地区代理商。飞凯曼科技公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化，为广大中国用户提供*的仪器、设备，周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国，光电技术、材料科学、光电子科学与技术、半导体等等领域，都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现。飞凯曼科技公司有幸成长在这个科技创造未来的年代，我们愿意化为一座桥梁，见证中国科技水平的提升，与中国科技共同飞速成长。

主要产品:

1.飞秒激光元件
飞秒激光反射镜、飞秒激光透镜、飞秒激光棱镜、飞秒偏振光学器件、飞秒非线性激光晶体

2.非线性光学和激光晶体
BBO晶体, LBO晶体, KTP晶体, KDP晶体, DKDP晶体, LiIO3晶体, LiNbO3晶体, MgO:LiNbO3晶体, AGS晶体 (AgGaS2晶体), AGSe晶体 (AgGaSe2晶体), ZGP (ZnGeP2) 晶体, GaSe晶体, CdSe晶体等。Nd:YAG晶体, Nd:YVO4晶体, Nd:KGW晶体, Nd:YLF晶体, Yb:KGW晶体, Yb:KYW晶体, Yb:YAG晶体, Ti:Sapphire晶体, Dy3+:PbGa2S4晶体等
晶体恒温炉、晶体温控炉等

3.普克尔斯盒及驱动
KTP普克尔斯盒、DKDP普克尔斯盒、BBO普克尔斯盒、高重复频率普克尔斯盒驱动和高压电源、低重复频率普克尔斯盒驱动和高压电源、普克尔斯盒支架等

4. Nd:YAG激光器元件
Nd:YAG激光反射镜、Nd:YAG激光棱镜、Nd:YAG激光窗口、Nd:YAG激光偏振片、Nd:YAG激光晶体等

5.激光器和激光器模块
连续半导体激光器、连续DPSS激光器、调Q DPSS激光器、超快光纤激光器等

6.光学元器件
光学材料、光学镀膜、介质镜、金属镜、激光器窗口、棱镜、光学滤光片、光学柱面镜、偏振镜、紫外和红外光学元件

7.光学整形系统
高斯光转平顶光光束整形系统、扩束镜、F-Theta镜（聚焦镜）、望远镜、可调激光衰减器、可变光圈、精密空间滤光片、束流捕捉器

8.光学精密位移机构
防震桌、光学支架、光学导轨、固定座、光学固定、光学定位、传输和定位台、自动定位和控制器等

9.半导体激光器
高功率半导体激光器、波长稳定的半导体激光器、单频半导体激光器、光纤耦合半导体激光器、光纤激光器、波长可调谐单频激光器

10.铒玻璃
掺铒磷酸盐激光玻璃、铒玻璃、铒镱共掺激光玻璃、1550nm激光器、人眼安全激光器

11. DPSSL激光谐振腔设计软件和数据库

12. F-P扫描干涉仪

13.应力测试仪
日本UNIOPT公司应力双折射测量系统、光弹性模量测试系统、应力测试系统、磁光克尔效应（MOKE）测试仪、薄膜残余应力测试仪。应力双折射测试仪、应力测试仪、应力分析仪、偏振相机

14.精密划片机
日本APCO公司手动精密划片机、自动精密划片机。日本NDS公司半自动自动划片机、贴膜机、UV解胶机、清洗机、晶圆划片（切割）刀、电畴划片刀、陶瓷划片刀、金属烧结划片刀、树脂划片刀等

15.材料表征仪器
霍尔效应测试仪、变温霍尔效应测试仪、低温霍尔效应测试仪、塞贝克效应测试仪、低温探针台、变温探针台、椭偏仪、少子寿命测试仪、深能级瞬态谱仪

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霍尔效应测试仪，塞贝克热电效应测试仪，高低温真空探针台，少子寿命测试仪，深能级瞬态谱仪，普克尔盒驱动，非线性晶体，红外晶体，光学元件

产品简介在线询价

北京飞凯曼科技公司提供薄膜应力测试仪。，又名薄膜残余应力测试仪或薄膜应力仪，是专门用于测试和研究薄膜材料和薄膜制备工艺的*的工具。
薄膜中应力的大小和分布对薄膜的结构和性质有重要的影响, 可导致薄膜的光、电、磁、机械性能改变. 例如, 薄膜中的应力是导致膜开裂或与基体剥离的主要因素, 薄膜中存在的残余应力很多情况下影响MEMS 器件结构的特性, 甚至严重劣化器件的性能, 薄膜的

薄膜应力测试仪产品信息

北京飞凯曼科技公司提供薄膜应力测试仪。薄膜应力测试仪，又名薄膜残余应力测试仪或薄膜应力仪，是专门用于测试和研究薄膜材料和薄膜制备工艺的*的工具。

薄膜中应力的大小和分布对薄膜的结构和性质有重要的影响, 可导致薄膜的光、电、磁、机械性能改变. 例如, 薄膜中的应力是导致膜开裂或与基体剥离的主要因素, 薄膜中存在的残余应力很多情况下影响MEMS 器件结构的特性, 甚至严重劣化器件的性能, 薄膜的内应力对薄膜电子器件和薄膜传感器的性能有很大的影响.因此, 薄膜应力研究在薄膜基础理论和应用研究中起到重要的作用, 薄膜应力的测量备受关注。再例如在硬质薄膜领域，金属氮化物、氧化物、碳化物等硬质薄膜因具有*的耐磨、耐腐蚀等特性，被广泛应用于金属材料的防护．硬质薄膜的主要制备方法包括物理气相沉积和化学气相沉积技术．研究发现，沉积态硬质薄膜中存在较大的残余应力，而且沿层深分布不均匀；该残余应力对硬质薄膜一基体系统的性能影响很大-lJ_精确地测量硬质薄膜的残余应力，系统研究它与沉积工艺的关系，对优化硬质薄膜基体系统的性能具有重要的意义．

本公司提供的

基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用*控制技术和傻瓜化的操作，使得FST150薄膜应力测量仪特别适合于要求快速测量常规薄膜残余应力。根据我们科研工作者*的扎实的理论研究和实际工艺探索，研制的一套适用于各种薄膜应力测试的装置。近年来，经过国内院校和科研单位的实际使用和验证，该仪器具有良好的重复性和准确性，是一款广泛应用于各领域薄膜制备和材料研究的高性价比的仪器。

产品功能和特点：

自动采集分析数据功能；

自动扫查样品边缘，定位样品中心；

自动计算出曲率半径值和薄膜应力值；

对原始表面不平直的基片表面的薄膜，可采取原位测量的方式，计算薄膜应力值。

技术参数：

1.原理：曲率法Stoney公式

2.薄膜应力测量范围：5MPa到50GPa；

3.曲率半径测试范围：0.3-20m

4.曲率半径测试误差：﹤±1%

5.薄膜应力计算误差：﹤±2%

6.测试平台行程：X方向100mm，Y方向50mm