无尘室运转与维护管理
无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等;而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等。
为微尘粒子的传送路径。无尘室洁净度之维持和控制,除了硬设备之配合投资外,也需要良好的软件——管理制度来搭配,方能维持良好的洁净度;无尘室运转管理,可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨;无尘室内系统除了通称的空调系统之外,制程设备也包括在内,本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。
尘室污染源运转管理维护保养
污染源控制 无尘室洁净度之维持和控制,除了硬设备之配合投资外,也需要良好的软件——管理制度来搭配,方能维持良好的洁净度。无尘室内之微污染来源,经测试分析结果,作业人员占约80%,实验数据显示,作业人员进出无尘室时尘埃有显著增加,有人动作时,洁净度马上劣化,可见洁净度劣化之原因人是主要因素。
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