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三温区卷对卷连续石墨烯薄膜生长设备

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称安徽贝意克设备技术有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地合肥市
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2017/2/22 15:19:56
  • 访问次数1017
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(贝意克) BEQ公司是应材料界老顾客要求成立的专业致力于材料制备设备的研发、生产型企业。公司拥有多名海归技术专家,顾问。可在材料研究的各个领域为您排忧解难,公司产品设计*,注重细节,质量可靠,售后无忧。广泛应用于新能源材料,金属材料,磁性材料,半导体材料,陶瓷材料,电化学,薄膜材料,CVD,MOCVD,PECVD ,UPECVD,JPECVD,石墨烯,硅纳米管,纳米线,蓝宝石(LED),光学材料,齿科等研究领域。

    为更好地服务于顾客,我公司筹建了多功能实验室,满足客户的各种常规实验要求,并有专业的技术团队为您提供更*的建议和方案,让您能*的选择到Z适合您实验的设备。

    贝意克(BEQ)以客户的需求为使命,为材料学研究者提供Z适合,*的专业方案。

Best Equipment (贝意克较好的设备)将是我们一直追求的目标。为客户解决全套方案是贝意克(BEQ)人的追求!

感动式服务赢市场,专业性理念立品牌。是贝意克(BEQ)的立业之本!

以人为本,用人求德。是贝意克(BEQ)用人原则!

实验电炉,干燥箱,压力机等
基于广大科研界对实现大面积单层石墨烯薄膜在工业铜箔基底上卷对卷宏量制备的需求,我公司开发出一种新的卷对卷连续快速生长石墨烯薄膜的方法,设计并研制了可达到中试水平的石墨烯卷对卷化学气相沉积系统,通过对石墨烯成核与生长的调控实现高品质石墨烯薄膜生长;此款设备是快速冷却卷对卷等离子体增强CVD连续生长炉,它由高温生长腔体,三路质量流量计气路系统,真空机组,RF射频电源模块,石英管,冷却装置,
三温区卷对卷连续石墨烯薄膜生长设备 产品信息

 

 

额定功率

KW

7

额定电压

V

AC 208-240V 50/60 Hz

zui高温度

1200

持续工作温度

≤1100℃

*升温速率

℃/min

≤30℃/min

炉管尺寸

mm

高纯石英管Φ80×1820mm(可使用基底铜箔宽度≤60mm)(其他尺寸可定制

加热区长度

mm

300+300+300

恒温区长度

mm

600

控温方式

人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制。

无纸记录

1、内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据。

2、系统采用自动化工艺流程,设定好工艺一键操作。降低人为因素,工艺可靠性可以达到99.9%。

控温精度

±1

加热元件

进口电阻丝

真空进料腔

进料进气真空腔室与出料排气腔体外壳以亚克力为主要材料,电机带动铜箔在密闭生长条件下运动,并通过冷却装置后收紧成卷。

气路系统配制

内部装有高精度质量流量计可准确的控制气体流量;设有静态混气室,有助于气体充分混合,按要求配比。

射频电源配制

RF射频电源等离子辅助模块,大大降低了石墨烯的生长温度,是铜箔的机械强度适合连续收放

真空系统配制

真空机组内含真空泵,数字真空计以及相关的连接调节阀,可提供一个可控的低压环境。

认证标准

CE

尺寸(长X宽X高)

mm

3520*1100*1500

净重

Kg

600

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