额定功率 | KW | 7 |
额定电压 | V | AC 208-240V 50/60 Hz |
zui高温度 | ℃ | 1200 |
持续工作温度 | ℃ | ≤1100℃ |
*升温速率 | ℃/min | ≤30℃/min |
炉管尺寸 | mm | 高纯石英管Φ80×1820mm(可使用基底铜箔宽度≤60mm)(其他尺寸可定制) |
加热区长度 | mm | 300+300+300 |
恒温区长度 | mm | 600 |
控温方式 | 人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制。 | |
无纸记录 | 1、内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据。 2、系统采用自动化工艺流程,设定好工艺一键操作。降低人为因素,工艺可靠性可以达到99.9%。 | |
控温精度 | ℃ | ±1 |
加热元件 | 进口电阻丝 | |
真空进料腔 | 进料进气真空腔室与出料排气腔体外壳以亚克力为主要材料,电机带动铜箔在密闭生长条件下运动,并通过冷却装置后收紧成卷。 | |
气路系统配制 | 内部装有高精度质量流量计可准确的控制气体流量;设有静态混气室,有助于气体充分混合,按要求配比。 | |
射频电源配制 | RF射频电源等离子辅助模块,大大降低了石墨烯的生长温度,是铜箔的机械强度适合连续收放 | |
真空系统配制 | 真空机组内含真空泵,数字真空计以及相关的连接调节阀,可提供一个可控的低压环境。 | |
认证标准 | CE | |
尺寸(长X宽X高) | mm | 3520*1100*1500 |
净重 | Kg | 约600 |