Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器
耐腐蚀,精度1%
型号:SEC-E440J,NH3, 7SLM;SEC-E440J,SiH4,500sccm
E440J系列已经停产,用N112系列替代:N112MGM。
Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器电磁控制阀金属密封质量流量控制器,又称流量计,可用于腐蚀性干燥气体,在光伏中PECVD中有光伏应用。
金属密封;
电磁控制阀;
可优化响应时间;
自动归零功能;
集成报警功能;
阀电压检测功能;
电磁控制阀可*关闭;
Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器
气体接触部件材料:SUS 316L不锈钢,PTFE(聚四氟乙烯)
精度:<±1.0% F.S.
线性度:<± 0.5% F.S.
重复性:<± 0.2% F.S.
流量控制范围:2 ~ * F.S.
响应速度:< 1秒
满量程流量
SEC-E440J: 10sccm ~ 10slpm
SEC-E450J: 20/30slpm
本公司同时提供美国AALBORG、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器