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1200℃加长双温区CVD系统

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海煜志机电设备有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2018/11/7 14:24:34
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上海煜志机电设备有限公司是一家专注于新材料、新能源全套设备研发生产销售一体的高科技企业,公司下设三个事业部(仪器设备事业部、新材料事业部、新能源事业部)和一个实验测试中心。仪器设备事业部提供从“研磨、混合、分散均质乳化——干燥——成型——高温烧结——切磨抛——测试”一条龙服务,为您的材料实验室量身定制全面的解决方案,我们可根据您的工艺要求,将您的科研成果同步放大,真正实现实验室到批量生产的无缝对接。主要产品有:研磨、混合、分散均质乳化设备(球磨机、粉碎机、研磨分散乳化机);干燥设备(喷雾干燥机、真空干燥箱、流化床干燥机);成型设备(压片机等);高温烧结设备(箱式炉、管式炉、CVD系统、真空烧结炉、真空熔炼炉及各种非标加热炉);切、磨、抛设备(切割机、研磨机、抛光机);测试设备(硬度计、金相设备、显微镜等)。

新材料事业部与多所高校和研究所展开紧密合作,可提供多种陶瓷、薄膜、晶体的制备工艺及成套设备,在碳材料方面可提供石墨烯、碳纤维、碳纳米管及气凝胶烧结的整套解决方案。我们开发的成套设备有:机械剥离法石墨烯粉体生产线、石墨烯薄膜卷对卷连续制备系统、碳纤维规模生产线、碳纳米管连续制备装置、大尺寸气凝胶烧结设备等。

新能源事业部是在国家清洁能源与可再生能源发展战略背景下,围绕国家能源“十三五规划”中的太阳能、风能以及分布式储能等系统中传热、储热熔盐系统的需求成立的,专门针对熔盐在传热储能等应用中的关键问题,为客户提供优质的熔盐化学化工技术与设备的专业提供商、服务商和集成商。*与*上海应用物理研究所,*上海有机化学研究所,中国工程物理研究院材料所等研究院所合作,开发设计了一系列高温熔盐熔融设备、熔盐存储转运设备、熔盐电解精炼系统、熔盐关键物性检测设备等高温熔盐相关设备与系统,成功解决了熔盐熔融制备、净化存储、分析检测、传热储能等应用中的诸多关键技术问题。

公司拥有多名高级顾问,均来自国内外*科研单位和高等学府,其中研究员3人,博士5人,硕士5人,他们*从事化工机械、*材料、新型熔盐等方面的研究,为公司的发展有效的提供了智力支持和技术保障。

公司坐落在上海市嘉定工业园区,占地面积超10亩,交通便利,沈海高速朱桥出口即到。“致力创新、助力科研”,我们愿为新材料、新能源的发展做出我们一点微薄的贡献。

“煜耀东方、志在千里”,上海煜志机电设备有限公司全体员工期待您的光临!

箱式炉,管式炉,气氛炉
产地 国产 产品新旧 全新
1200℃加长双温区CVD系统是由加长双温区管式实验电炉,多通道高精度质量流量计混气系统,高真空分子泵系统等组成。可实现真空达0.001Pa混合气体化学气相沉积、扩散实验。同时上海煜志良好的售后服务体系,使得该产品的整体评价远*业标准。
1200℃加长双温区CVD系统 产品信息

简介 

1200℃加长双温区CVD系统是由加长双温区管式实验电炉,多通道高精度质量流量计混气系统,高真空分子泵系统等组成。可实现真空达0.001Pa混合气体化学气相沉积、扩散实验。同时上海煜志良好的售后服务体系,使得该产品的整体评价远*业标准。

1200℃加长双温区CVD系统主要技术参数

炉体结构

整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构

*真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好

双层壳体结构,内置风冷层,有效降低外壳表面温度

炉盖可开启,可以实时观察加热的物料

电源

电压:AC220V 50/60Hz;功率:8kW

炉管

高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小;

尺寸:Φ60/80/100*1200mm

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合

 

加热系统

温度:1200℃;

升温速率:*≤10℃/min;

快升温速度30℃/min.

温控系统

日本富士仪表,64段控温程序,可分步、分段; 

测温元件:N型热电偶; 控温精度:±1℃ 

混气系统

三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

通过控制面板上的旋钮来调节气体流量

流量规格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

法兰上预留一路浮子流量计,流量规格0.3-3L/min

真空系统

采用双极旋片真空泵+分子泵,极限真空可达4.0*10-4Pa

复合真空计显示,配置电阻规+电离规

抽速:110L/s,风冷式散热结构

配置真空角阀、波纹管、压差式充气阀

可选配件

冷水机,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件等

保修期

整机一年保修(相关耗材除外)

可根据客户要求定制!

特色与优势

1.加长双温区炉体,大大加长了实验区域的温度均匀性;

2.开启式炉盖设置,降低沉积温度、加快沉积速度;

3.日本富士温控仪表,64段控温程序,可分布,分段,三路质量流量计,数字显示精确控制气体流量;

4.双极旋片真空泵+分子泵,实现对真空度的不同要求,极限真空可达4.0*10-4Pa;

5.配置一路浮子流量计及三路高精度质量流量计混气系统,可满足不同气氛下的实验要求;

6.内置S型热电偶,可快速、实时监测反应物料的温度变化情况;

7.尾气活性炭过滤处理,减少反应气体排放对实验室环境的影响。

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