软X射线分析谱仪

软X射线分析谱仪

通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了*的能量分辨率。

和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的*能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

系统简介

新开发设计的分光系统，不需移动衍射光栅或检测器（CCD）就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高，还可以采集状态分析分佈图

SXES、WDS、EDS的比较

各种分光方法中氮化钛样品的谱图

即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠，需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示，SXES具有很高的能量分辨率。

软X射线分析谱仪比较表

特征 SXES EPMA(WDS) EDS

分辨率 0.3 eV

(费米边处 Al-L) 8 eV (FWHM@Fe-K） 120-130 eV

(FWHM@Mn-K）

化学结合状态分析 可以 可以(主要是轻元素) 不可以

并行检测 可以 不可以

(但分光谱仪台数范围即可) 可以

分光晶体和检测器 衍射光栅＋CCD 分光晶体＋正比计数管 SDD

检测器冷却 珀尔帖冷却 不需要 珀尔帖冷却

检测限(以B作為參考值) 20ppm 100ppm 5000ppm

锂离子二次电池（LIB）分析实例

能观察到LIB的充电量

轻元素的测试实例

SXES测试碳素化合物的实例

可以测试金刚石、石墨、聚合物的不同。

各种氮素化合物的测试实例

氮素也可以根据波形分析化学结合状态。 硝酸盐和氮化物的波形*不同，还能观察到易受电子束损伤的铵盐的*波形。