近代的超音速气流粉碎机是在蒸汽机和电动机等动力机械逐渐完善和推广之后相继创造出来的。1806年出现了用蒸汽机驱动的辊式破碎机；1858年，美国的布莱克发明了破碎岩石的颚式破碎机；1878年美国发展了具有连续破碎动作的旋回破碎机，其生产效率高于作间歇破碎动作的颚式破碎机；1895年，美国的威廉发明能耗较低的冲击式破碎机。
与此同时，粉磨机械也有了相应的发展，19世纪初期出现了用途广泛的球磨机；1870年在球磨机的基础上，发展出排料粒度均匀的棒磨机；1908年又创制出不用研磨介质的自磨机。二十世纪30～50年代，美国和德国相继研制出辊碗磨煤机、辊盘磨煤机等立轴式中速磨煤机。
超音速气流粉碎机的出现，大大提高了粉碎作业的功效。但是，由于各种物料的粉碎特性互有差异，不同行业对产品的粒度要求也彼此不同，于是又先后创制出按不同工作原理进行粉碎作业的多种超音速 气流粉碎机，如小型粉碎机、机械粉碎机、混合机、气流粉碎机、分级机、双螺旋锥形混合机、除尘设备等。
工作原理
当压缩空气通过加料喷射器，粉碎原料进入粉碎室，在粉碎室外围有数个粉碎喷嘴，喷射超音速气流，形成高速气流轨迹，使粉料受到气流高速冲击、压缩等力的作用，使粉体互相碰撞、摩擦而粉碎，在粉碎室内由于离心力的作用，还起到了分级的目的，把超微粒子及时分离出来，粗颗粒在离心力作用下，继续在粉碎室内作高速圆周运动，并被继续粉碎，直至粒径小至分离的程度。
性能特点
1.适用于干式超微工艺，由于冲击速度大，可达2马赫以上，一般情况下很容易获得1-10微米粒子。
2.由于粉碎机内部的自分级，制品中粗粒子不断循环粉碎，因而能获得粒子均匀、粒径分布范围窄的制品。
3.粉碎过程中，由于压缩空气激剧膨胀，使温度下降，因此适用于低熔点，热敏性物料的粉碎，粉碎过程中还起到混合和分散的效果。
4.该设备具有粉碎时间短，结构简单，没有运转部件且操作检修方便，占地面积小，低噪音和无振动优点。
5.粉碎效率高，能进行连续粉碎，保持粉碎制品的纯度。
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