全自动直流离子溅射仪为扫描电镜用户在制样过程中提供了更广泛的选择,以便适用支持扫描电子显微镜所需的涂层要求。在结构设计及人机界面方面更加注重人性,简单智能。对于SEM样品常规适用黄金溅射,GVC-1000提供了一个低成本的解决方案,同时可以通过更换不同的靶材(金、铂、铱、银、铜等),以达到更细颗粒的涂层。同时通过智能的人机界面精确、简单、方便控制仪器,同时具有估算镀层厚度,实时显示真空度,溅射电流。设定溅射时间。以及靶材的剩余情况。
GVC-1000离子溅射仪是于扫描电镜(SEM)的样品喷金仪器,能够极为有效的提供样品的导电性及导热性,确保恒沉积速率,减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤.显著提供扫描电镜观测结果。
金颗粒分布的均匀性和颗粒大小,通过场发射扫描电镜观测,不同时间内金颗粒分布非常均匀,颗粒度在10-20nm之间。
溅射技术
离子溅射仪在电子显微镜领域内,往往需要对样品进行表面镀膜从而使样品表面成像或者图像质量得到改善。在样品表面覆盖一层导电的金属薄膜可以消除荷电反应,降低电子束对样品表面的热量损伤,可以提高SEM对样品进行形貌观察,所需要的二次电子信号量。