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卷对卷连续化生长CVD设备RTR-III-80

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具体成交价以合同协议为准

公司名称安徽贝意克设备技术有限公司
品牌其他品牌
型号RTR-III-80
所在地合肥市
厂商性质生产厂家
更新时间2020/3/16 12:50:25
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产品标签:

CVD 连续化生长卷对卷

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公司介绍主营产品

（贝意克） BEQ公司是应材料界老顾客要求成立的专业致力于材料制备设备的研发、生产型企业。公司拥有多名海归技术专家，顾问。可在材料研究的各个领域为您排忧解难，公司产品设计*，注重细节，质量可靠，售后无忧。广泛应用于新能源材料，金属材料，磁性材料，半导体材料，陶瓷材料，电化学，薄膜材料，CVD,MOCVD，PECVD ,UPECVD,JPECVD,石墨烯，硅纳米管，纳米线，蓝宝石（LED），光学材料，齿科等研究领域。

为更好地服务于顾客，我公司筹建了多功能实验室，满足客户的各种常规实验要求，并有专业的技术团队为您提供更*的建议和方案，让您能*的选择到Z适合您实验的设备。

贝意克（BEQ）以客户的需求为使命，为材料学研究者提供Z适合，*的专业方案。

Best Equipment (贝意克较好的设备)将是我们一直追求的目标。为客户解决全套方案是贝意克（BEQ）人的追求！

感动式服务赢市场，专业性理念立品牌。是贝意克（BEQ）的立业之本！

以人为本，用人求德。是贝意克（BEQ）用人原则！

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实验电炉,干燥箱,压力机等

产品简介在线询价

产地	国产	产品新旧	全新

该设备为我司研发用于石墨烯薄膜连续生长或者线性材料的连续的设备，此款设备是快速冷却卷对卷CVD连续生长炉，它由高温生长腔体，三路质量流量计气路系统，真空机组，石英管，冷却装置，收放卷的密封装置，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室（即收放铜箔或纤维丝的密封装置），收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有

卷对卷连续化生长CVD设备RTR-III-80 产品信息

1.加热系统

zui高温度	1200℃
使用温度	≤1100℃
炉膛有效尺寸	Φ80mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。）
炉膛材料	氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型	K型热电偶
控温精度	±1℃
控温方式	30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序。
加热长度	200+200+200mm
加热原件	电阻丝
供电电源	单相，220V，50Hz

2、三路质子流量控制系统

连接头类型	双卡套不锈钢接头
标准量程（N₂)	200sccm，500sccm、1000sccm （可根据用户要求定制）
准确度	±1.5%F.S
线性	±1%F.S
重复精度	±0.2%F.S
响应时间	气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围	0.1～0.5 MPa
zui大压力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
显示	4位数字显示
工作环境温度	5~45高纯气体
压力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀	Φ6
内外双抛不锈钢管	Φ6

3、低真空机组

空气相对湿度	≤85%
工作环境	5℃～40℃
工作电电压	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽气速率	10m³/h
极限真空	5X10-1Pa
工作压力范围	1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐压值	0.03MPa
容油量	1.1L
进气口口径	KF25
排气口口径	KF25
噪音	50dB
连接方式	采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连