技术参数
额定功率 | 5KW |
额定电压 | AC 220V Single Phase,50/60 Hz |
外管尺寸 | Φ50*1200mm高纯石英管(管径可选) |
常规处理量 | 0.1-50g |
升华区温度 | 50-800℃ |
沉积区区温度 | 50-500℃ |
加热区分布 | 100+200+100+100+100mm |
控温方式 | 数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表,采用模糊型PID控制 |
控温点数量 | 5点独立控温 |
开启方式 | 开门式炉体结构上下翻盖液压手动开启 |
极限真空(洁净系统) | 5X10-5Pa |
分子泵抽气速率 | 100L/S |
过滤方式 | 系统采用三级过滤保护装置,分别采用多级微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤 |
本底真空 | 机械泵系统:1Pa |
| 分子泵系统:10-3Pa |
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