等离子辉光滑轨PECVD系统产品简介：本设备主要针对实验石墨烯生长和制备使用，同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。
等离子辉光滑轨PECVD系统高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。
zui高温度 | 1200℃ |
使用温度 | ≤1100℃ |
炉膛有效尺寸 | Φ50/φ100mm（炉管直径可根据实际需要定制。） |
炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
热电偶类型 | K型热电偶 |
控温精度 | ±1℃ |
控温方式 | 30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7/10寸工控电脑，内置PLC控制程序。 |
加热长度 | 230mm/440mm |
恒温长度 | 100mm/200mm |
加热原件 | 电阻丝 |
供电电源 | 单相，220V，50Hz |
2、PE射频电源
功率输出范围 | 0W~150/500W |
zui大反射功率 | 100W |
射频输出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率稳定度 | ≤5W |
谐波分量 | ≤-50dbc |
供电电压 | 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
整机效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷却方式 | 强制风冷 |
3、三路质子流量控制系统
连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
标准量程（N2) | 50sccm，100sccm、500sccm （可根据用户要求定制） |
准确度 | ±1.5%F.S |
线性 | ±1%F.S |
重复精度 | ±0.2%F.S |
响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
zui大压力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
显示 | 4位数字显示 |
工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
压力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 | Φ6 |
内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
4、低真空机组
空气相对湿度 | ≤85% |
工作环境 | 5℃～40℃ |
工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽气速率 | 10m³/h |
极限真空 | 5X10-1Pa |
工作压力范围 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐压值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
进气口口径 | KF25 |
排气口口径 | KF25 |
噪音 | 50dB |
连接方式 | 采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
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