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被测件大长度: 150 mm 工作台行程: 5m 分度值调整范围: 0.05-0.2 μm *使用分度值: 0.1μm 测量压力: (1.5±0.1)N 仪器示值稳定性: 0.02 μm 仪器误差: ±(0.03+3ni?λ) μm n是格 ,i是格值 , △λ 是滤光片波长 误差 仪器体积: 280x500x700 mm 仪器重量: 40 kg标准配件: 五筋园台、 九筋玛瑙台、可调园平台、 辅助台、平面测帽 小球面测帽、干涉滤光片
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