CTRM 700热反射式激光共聚焦显微镜
CTRM700 是韩国출연연구소所研发并由韩国Nanoscope Systems 进行商业化运营的热反射式激光共聚焦显微镜。
CTRM 700 利用的是激光共聚焦扫描的方法测量样品表面或内部特定表面上温度变化引起的反射率变化的分布来获取样品的热分别图像。
Principles & Benefits（性能及优势）：
热反射显微镜（Thermal Reflectance Microscope) 是一种基于测量样品表面光反射率变化而测量样品温度变化的一种技术。
共聚焦热反射显微技术是一种激光扫描共聚焦方法，它可以在局部区域获得比传统热成像技术（红外成像技术）更高分辨率的热成像图像。
Application field（应用领域）：
半导体器件热特性的测量与分析：
-柔性显示面板缺陷检查
-OLED内部缺陷检查
-高输出功率装置发热特性的测量与分析
-传感器单元的红外图像分析
-氧化物薄膜晶体管的热特性
-3D堆叠半导体热特性的测量分析
-OLED 器件的热特性分析
-气体传感器的MEMS装置的热特性测量和分析
-InGaZnO薄膜晶体管的发热特性及可靠性分析
Specification（规格）
Model | Microscope CTRM 700 | ||||
物镜倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | |
观察/ 测量范围 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 |
垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | |
工作范围: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | |
数值孔径(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | |
光学变焦 | x1 to x6 | ||||
观察/测量光学系统 | 针孔共聚焦光学系统 | ||||
| 测量高度 | 7 mm | ||||
分辨率 | 横向分辨率 | 0.3 μm | |||
轴向分辨率 | 0.8 μm | ||||
热分辨率 | 1℃ | ||||
Image size | 共聚焦模式 | 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | |||
热成像模式 | 1024x768 | ||||
帧速率 | 共聚焦模式 | 10 Hz to 160 Hz | |||
热成像模式 | 0.3 Hz | ||||
激光共焦测量光源 | 波长 | 638 nm | |||
| 输出 | ~2mW | ||||
激光等级 | Class 3b | ||||
| 光学显微镜光源 | LED | 10W | |||
光学观察照相机 | 成像元件 | 1/2” 彩色图像 CCD 传感器 | |||
记录分辨率 | 640x480 | ||||
数据处理单元 | PC | ||||
电源 | 电源电压 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | |||
电流消耗 | 500 VA max. | ||||
重量 | 显微镜 | Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~14 kg) | |||
控制器 | ~8 kg | ||||
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