性能参数
HFM200系列质量流量控制器-高压大流量 | ||||
量程(N2) | 1500SLPM | 3000SLPM | 6000SLPM | 15000SLPM |
原理 | 热式 | |||
精度 | ±3.0%FS | ±5.0%FS | ||
重复性 | ±0.25%FS | |||
温度系数 | ±0.1%FS/℃(15-35℃) | ±0.2%FS/℃(15-35℃) | ||
耐压 | 1.0Mpa、高压选项3.4Mpa | |||
泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 | |||
工作温度 | 5~45℃(精度保证范围15~35℃) | |||
湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) | |||
材质 | 本体SUS316 | |||
密封圈VITON、NBR、PTFE | ||||
电气接口 | DB15 | |||
输出信号 | 0-5V | |||
供电电压 | ±15VDC,50mA | |||
管路连接 | 3寸NPT | 4寸法兰 4寸焊接 | 6寸法兰 6寸焊接 | 8寸法兰 8寸焊接 |
电气连接
DB15针脚定义：
针脚/颜色 | 定义 |
1-4针脚 | 空 |
5针脚 | 信号COM |
6针脚 | 0-5V输出 |
7针脚 | 电源GND |
8针脚 | 空 |
9针脚 | 电源 -15VDC |
10针脚 | 空 |
12针脚 | 电源 +15VDC |
13-15针脚 | 空 |
使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
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