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无电极Z-PinchTM EUV(极紫外)、SXR(软X射线)光源系列

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称杭州谱镭光电技术有限公司
  • 品       牌
  • 型       号EQ-10,EQ-10HR,EQ-10HP,EQ-10SXR
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2021/5/14 14:04:48
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杭州谱镭光电技术有限公司(Hangzhou SPL Photonics Co.,Ltd)创立于2008年,经过近12年公司同仁共同的的努力和发展,公司在光谱仪器、激光器系统及配件,生物光学和量子光学等领域和应用有非常多的经验和解决方案,同时也组建了一支专业的销售和服务团队。

 

公司秉承专业服务客户为上的目标,一直严格要求,以尽善尽美为工作方向,和客户一起前行。目前公司在光谱仪器和激光检测系统方面有自己的研发能力,开发出了便携式土壤重金属分析仪(LIBS)、便携式红宝石标压系统、显微拉曼测量系统等。同时公司时刻关注新的技术和产品,目前代理包括微型光纤光谱仪、红外光谱仪,飞秒激光器,纳秒激光器,可调谐激光器,窄线宽激光器,He-Ne激光器等各种激光器和配件。同时代理各类光电检测设备,包括功率计、能量计、光束质量分析系统、脉宽测量探测器和自相关仪、偏振态测量系统。还有代理各类光学配件,包括光学元器件,位移系统,滤波片。

 

 

目前公司主要代理品牌如下:

美国海洋光学:光纤光谱仪及配件;

美国CEO:激光二极管,二极管侧泵模块,各类纳秒激光器,激光控制器;

奥地利Montfrot:适用于便携的超紧凑纳秒高能量激光器,大功率皮秒、飞秒激光器;

美国EOT:高品质隔离器、各类光电探测器;

美国DataRay: 光束质量分析系统及配件;

德国CarbonVision:高品质碳纤维面包板及定制产品;

丹麦DFM:单频激光器;

德国GRINTECH:自聚焦透镜、生物医学用定制透镜系统;

法国IRISIOME:皮秒可编程调谐激光器;

德国LIOP:超稳定高精度光学调整架及光机械产品;

德国MRC:光束自稳定系统;

立陶宛QLI:高能量紧凑风冷纳秒激光器,可五倍频到213nm;

美国Axsun:OCT用高速扫频激光光源;

专谱ProSP:各类定制光谱系统;

立陶宛Integrated Optics:超紧凑稳定的半导体和DPSS激光器;

德国Class 5:高功率飞秒激光器系统,OPCPA系统。

激光产品
的空间稳定性和稳定的可重复输出功率 !型号:EQ-10,EQ-10HR,EQ-10HP,EQ-10SXR
无电极Z-PinchTM EUV(极紫外)、SXR(软X射线)光源系列 产品信息

Energetiq光源是一款高亮度,高稳定、长寿命宽谱光源,采用革命性的光源技术——LDLS™激光驱动光源技术,这种光源从170nm通过可见光到近红外2100nm范围内亮度*、光谱平坦,寿命比传统光源高一个数量级。

无电极Z-PinchTM  EUV(极紫外)、SXR(软X射线)光源系列

 

Energetiq*的技术基于Z-Pinch等离子体,但是*不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁,能够将热负载消除到极低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。

 

主要特点

  • 输出波长13.5nm,2nm-4nmTM

  • 输出功率10W@13.5±1%(可选20W型号)

  • 重复频率2kHz(可选10kHz型号)

  • 无电极Z-Pinch技术

  • 符合CE标志和SEMI S2-0703

 

主要应用

  • EUV度量学

  • 耐EUV开发

  • 缺陷检测

  • EUV显微学

  • 水窗显微镜(XSR版本)

 

选型指南

 

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10
 

型号

EQ-10

EQ-10HR

EQ-10HP

EQ-10SXR

输出功率   (用氙气在2π球面)

10W,13.5nm,±1%宽带

-

20W,13.5nm,±1%宽带

400mW,2.8nm,产生2-4nm软X射线

脉冲重复率

1200 to 2000 Hz

10kHz

1200 to 2500 Hz

2kHz

尺寸

小等离子体尺寸

残留情况

低残留

工作压强

一般70到100 mTorr

一般150 mTorr

一般70到150 mTorr

-

氙气流速

一般5到15 sccm

一般100 sccm

一般5到15 sccm

-

低成本

氙气流速低,将消耗成本降低,占地面小

可靠性强

无电极Z-Pinch技术,符合CE标志和SEMI S2-0703

应用

EUV度量学

耐EUV开发

缺陷检测

EUV显微学

EUV光学元件测量

EUV计量学

耐EUV开发

缺陷检测

EUV显微学

EUV掩膜检测

EUV度量学

耐EUV开发

EUV显微学

水窗显微镜

细胞微光束探测

 

关键词:显微镜
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