在线真空等离子清洗系统

产品介绍

在线式真空等离子清洗系统自动搬运物料的设计要求,与常规等离子清洗系统相比,降低了人工搬运过成,提高了设备自动化水平。

在线真空等离子清洗系统介绍：

在线真空等离子清洗系统如上图所示，将腔体与加速极连在一起，形成一个密封空间。产品从进口阀门传输进入腔体后，关闭进口闸阀，直至等离子清洗处理完成后，打开出口闸阀送出产品到下一道工序。首先对真空腔抽真空，当真空度达到0.01mbr以下，向真空室内充入几mbr的反应气体，使真空腔压力保持在1mbr左右。参数的设置根据真空检测规数据反馈到节流阀控制器，由控制器控制节流阀阀门大小，进而控制真空泵抽气量，维持压力的动态平衡。接通射频电源引发辉光放电产生等离子体，在真空腔体内形成大量均匀的等离子体，等离子体频繁碰撞产品表面使产品被清洗干净。

等离子表面处理原理介绍：

在等离子体中除了气体分子，离子和电子外，还存在受到能量激励的处于激发状态的电中性的原子或原子团（又称自由基），以及等离子体发射出的光线。其中的波长短，能量搞得紫外光在等离子体与物质表面相互作用有着重要的作用。下面对它门 的作用分别进行介绍。

原子团等自由基与物体表面的反应

由于这些自由基呈电中性，存在寿命较长，而且在等离子体中的数量多于离子，因此自由基在等离子体中发挥着重要的作用。自由基的作用主要表现在化学反应过程中的能量传递的“活化”作用，处于激发状态的自由基具有较高的能量，因此易于与物体表面分子结合时会形成新的自由基，新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态，很可能发生分解反应，在变成较小分子的同时生成新的自由基，这种反应过程还可能继续进行下去，最后分解成水，二氧化碳之类的简单分子，在另一些情况下，自由基与物体表面分子结合的同时，回释放出大量的结合能，这种能量又成为引发新的表面反应的推动力，从而引发物体表面上的物质发生化学反应而被去除。

电子与物体表面的作用

一方面对物体表面的撞击作用，可促使吸附在物体表面的气体分子发生分解或吸附，另一方面大量的电子撞击有利引发化学反应。由于电子质量极小，因此比离子的移动速度要快得多。当进行等离子体处理时，电子要比离子更早到达物体表面，并使表面带有负电荷，这有利于引发进一步反应。

离子与物体表面的作用

通常指的是带正电荷的阳离子的作用，阳离子有加速冲向带负电荷的表面的倾向，此时物体表面获得相当大的动能，足以撞击去除掉表面上附着的颗粒性物质，我们把这种现象称为溅射现象。而通过离子的冲击作用可以极大促进物体表面化学反应发生的几率。

紫外线与物体表面的反应

紫外线具有很强的光能，（h）可使附着在物体表面的物质的分子键发生断裂而分解，而且紫外线具有很强的穿透能力，可透过物体的表层并深入达数微米而产生作用。

综上所述，可知在线真空等离子清洗系统是利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用，将吸附在物体表面的污垢*剥离去除。