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美国PIE EM-KLEEN远程等离子清洁仪

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称南京覃思科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号EM-KLEEN/SEMI-KLEEN quartz/SEMI-KLEEN sapphire
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2021/7/11 14:07:00
  • 访问次数284
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南京覃思科技有限公司是原江南光学仪器厂设计师改制后设立的一家从事光学、电子仪器销售与服务的专业公司。公司地址:南京市鼓楼区中山北路281号新城市广场虹桥中心2-728B。经营范围主要为:光学仪器;电子光学仪器;光电测量仪器;电子仪器;与仪器配套的计算机软硬件的销售、研发以及技术服务。本公司具有多年的行业经验,拥有良好的客户资源和技术能力,所销售的仪器质量和服务均为,在用户中口碑很好。为进一步强化华北地区的市场及服务,我公司在北京设立了办事处。 我公司获得了英国Quorum电镜制样设备、英国Deben电镜附件、荷兰ASI光子计数型混合像素探测器相机(X ray 和 TEM ED等应用)、荷兰Micro to Nano电镜耗材及用品、美国JC Nabity 电子束曝光系统(NPGS纳米图像发生系统)、美国PIE Scientific等离子清洁仪等仪器的中国区代理商和服务商的资格。产品包括:英国Quorum(Emitech):CryoSEM冷冻传输系统/扫描电镜冷冻台、喷金仪、喷碳仪、磁控离子溅射仪、热蒸发镀膜仪、双层镀膜仪、手套箱专用镀膜仪、临界点干燥仪、冷冻干燥仪、等离子清洁刻蚀灰化仪、辉光放电处理机(又称辉光放电清洁仪,用于TEM铜网处理)等。英国DEBEN:Microtest系列与光学显微镜/原子力/XRD/XCT/加速器等系统配套的微测试拉伸台、半导体制冷的电镜小冷台系列、BSE/CL/STEM等KED系列Centaurus探测器、EBIC电子束感生电流测量放大及成像系统、电子束闸、电镜腔室红外CCD成像等。荷兰ASI:X射线探测器、TEM ED探测器相机以及TPX3Cam纳秒时间戳高速光学相机等。荷兰M2N:电镜及微束分析行业耗材耗品。荷兰Micro to Nano(简称M2N),持续从事基于显微镜新需求的耗品研发,是SEM、TEM、FIB、AFM、SPM、LM等微纳领域之贴心伙伴,提供优质和创新的样品桩样品座、碳膜载网、校准标样、靶材、碳棒、碳绳、工具、配件、银胶、碳胶带、铜胶带、储存盒、清洁用品、真空密封、安全防护等各种耗材器具。美国JC Nabity:NPGS电子束曝光系统(电子束微影、电子束光刻、电子束暴光、纳米图形发生器)。美国PIE:Tergeo系列台式等离子清洁仪、TEM样品杆专用等离子清洁仪、EM-KLEEN远程等离子清洁仪(电镜腔室在线清洁)。日本NIKON生物显微镜;其它进口体视显微镜、金相显微镜、工业测量显微镜;国产“江南牌(JN)”各类光学显微镜;与各种显微镜配套的国产ACCUR电动平台和显微图象处理分析软件DT-2000(含多种进口、国产CCD摄像头)等。本公司还承接各种显微镜的数字化改造。 在“把优质产品和优质服务奉献给用户”的工作方针指导下,我公司经常举办或赞助各类学术研讨、交流及技术培训等社会活动,经常参加各种展会,同时用户跟踪沟通体系完善,客户档案管理完备,客户回访服务*;进而取得了良好的经济效益和社会效益. 客户涵盖于国内高等院校、科研院所、医疗卫生机构、政府机构、工矿企业等领域。例如:北大、清华、浙大、南大、东大、复旦、同济、上海交大、中科大等院校;中科院微生物所、遗传所、生物物理所、近代物理所、微电子所、等离子所、植生所、水生所、寒旱所、金属所、海洋三所、上海光机所、长春应化所、北京201所、绵阳九院、山西煤化所、广州能源所、上海石化院、大庆油田、胜利油田、首钢研究院、国家纳米中心、紫金山天文台等科研机构;广西、山东、宁波等检验,北京法医鉴定中心等国家机构;Intel英特尔、三星Samsung、西门子Siemens、日立Hitachi、博世Bosch、希捷Seagate等跨国企业;华为、天马、晨光等国内骨干企业。 本公司一向坚持以“诚信经营、诚实服务”为立业宗旨,奉行“精研覃思、无微不至”的企业文化,公司将以更优秀的科技产品及服务回报社会,愿与社会各界竭诚合作,共同发展。
化学发光,微生物检测,抗体,试剂盒
用于SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系统的远程等离子清洁仪。远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上,控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体,分解输入气体而产生氧或氢的活性基,活性基会扩散到下游的真空腔室,并与其中的污染物发生化学反应,反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洁仪可同时清洁真空系统和样品!
美国PIE EM-KLEEN远程等离子清洁仪 产品信息

远程等离子清洁仪

 

用于SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系统的远程等离子清洁仪。远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上,控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体,分解输入气体而产生氧或氢的活性基,活性基会扩散到下游的真空腔室,并与其中的污染物发生化学反应,反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洁仪可同时清洁真空系统和样品!

 

远程等离子清洁仪系列具有三种型号:

1EM-KLEEN 一款智能设计、功能强大的下游等离子清洁仪

2SEMI-KLEEN quartz是为满足半导体行业的苛刻清洁要求而设计

解决方案

3SEMI-KLEEN sapphire用于半导体行业的去污清洁,且支持耐

腐蚀性气体等离子应用。

 

仪器特点:

 快速清洁被污染的SEM样品。2-60秒氢等离子体清洁ALD样品。

不需减速或关闭涡轮分子泵

 低等离子偏压设计减少离子溅射和颗粒生成。结合自有多级

气体过滤技术,SEMI-KLEEN能够满足用户的颗粒污染清除要求

 可选蓝宝石管腔体和耐腐蚀性气体的流量控制器,以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等应用

 *的等离子强度传感器可实时监测等离子状态,用户对等离子状态一目了然

 基于压力传感回馈控制的自动电子流量控制器,无需手动调节针阀

 直观的触摸屏操作,可定义60条清洗程序方案

 拥有智能安全操作模式和专家控制模式;SmartScheduleTM定时装置,通过检测样品装载次数或时间间隔来定时清洁系统

 低电磁干扰设计,安静的待机模式

 

推荐应用:

•  FE-SEMFIBTEM的原位样品清洁

•  适用于半导体设备,如CD-SEM, EBR, EBI, EUVL

•  高真空室清洁,去除碳氢化合物和氟碳污染物

•  减少特高真空(EHV)和特高真空(UHV)泵的停机时间

•  适用于XPSSIMSAES和原子探针的腔室和样品清洁

•  适用于ALD和其它半导体加工设备的腔室和样品清洁

PIE Scientific研发的SmartClean™ 技术结合了核研究

和半导体行业的等离子体放电技术。EM-KLEEN

SEMI-KLEEN等离子清洁仪比前几代等离子体清洁仪

*得多。我们的等离子清洁仪可以在任何技术指标上

更胜;此外,许多*的功能只是在我们的仪器

产品上才拥有。

 

我们还提供其它系列样品清洁、样品杆清洁及存储等应

的仪器如您需要,请参考Tergeo系列、

Multipurpose ChamberTEM holder storage

 

 

 

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