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Raith 150 Two 高分辨电子束曝光系统

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市蓝星宇电子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2021/7/14 8:32:41
  • 访问次数225
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司,经过十多年的紫外光专业技术沉淀,可以根据客户特殊要求提供定制化服务,研发设计组装:紫外臭氧清洗机(UV清洗机),准分子清洗机,等离子清洗机/去胶机等科研以及生产设备,拥有自主品牌及注册商标。 同时我们代理欧美日多家高科技设备厂家高性价比产品, 始终坚持创新, 技术, 服务, 诚信的企业文化,为广大中国及海外客户提供的仪器设备和材料的整体解决方案。 应用领域: 半导体/微纳,光电/光学, 生命科学/生物医疗等领域的研发和生产, 客户群体例如高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等。 半导体/微纳,光电/光学 产品主要有: 德国ParcanNano(Nano analytik)针尖光刻机,电子束光刻机, 激光直写光刻机,紫外光刻机,微纳3D打印机,德国Sentech刻蚀机/镀膜机及原子沉积,英国HHV磁控/电子束/热蒸发镀膜机,微波离子沉积机MPCVD,芬兰Picosun原子层沉积机,电子显微镜, 德国Bruker布鲁克原子力显微镜/微纳表征/光谱仪, 美国THERMO FISHER赛默飞光谱/色谱/质谱/波谱仪,美国Sonix超声波显微镜, 德国耐驰Netzsch热分析仪, 德国Optosol吸收率发射率检测仪, 日本SEN UV清洗机/UV清洗灯,美国Jelight紫外清洗机/紫外灯管,德国Diener等离子清洗机等*技术产品。 生命科学/生物医疗 产品主要有:PCR仪,核酸质谱仪/核酸检测仪,电子显微镜,紫外设备,光谱/色谱/质谱/波谱仪,生物芯片,试剂,实验耗材等。 并可依据客户需求,研发定制相关产品。我们以高性价比的优势为客户提供优质的产品与服务,为高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等客户提供仪器设备和材料。
电子显微镜
德国 Raith 150 Two 高分辨电子束曝光系统,可实现亚5nm的曝光结构,可处理8晶元及以下样片。
Raith 150 Two 高分辨电子束曝光系统 产品信息

德国 Raith 150 Two 高分辨电子束曝光系统


详细介绍

Raith 150 Two作为高分辨电子束曝光系统,自推出以来销量不容忽视。该系统被广泛地用于研发和纳米技术中心,已证明了系统的24/7使用的稳定性。

Raith 150 Two 可实现亚5nm的曝光结构,可处理8”晶元及以下样片

环境屏蔽罩保证了系统的热稳定性,提高设备对实验室环境的容忍度,即使在相对糟糕的实验室环境下,也能保证系统的正常稳定运行。

超高分辨曝光及成像

小于8nm曝光
低电压曝光及成像
系统自动化程度高
可处理8"样片
隔墙安装 / 热稳定性

研发及小批量生产

软硬件的高自动化程度保障了小批量生产中进行简单且可重复性的曝光工作。

Raith 150 Two 高分辨的电子光学柱结合多种探测器可实现对准标记识别和过程控制中的灵活性。

Raith 150 Two 应用

· 75nmT型栅高电子迁移率晶体管器件

· HSQ胶上制作亚4.5nm线条

· 采用traxx长线条无写场拼接曝光模式制作延迟波导结构

· 5um厚胶上制作三维菲涅尔透镜阵列结构

· PMMA胶上制作精细的11nm线条

· PMMA胶上制作60nm周期光栅结构

RAITH150 Two 产品详情

主要应用:

。纳米级光刻
。高分辨成像
。低电压电子束光刻

样品台:

。完整的6“ 移动范围
。Z轴移动范围大

电子枪技术:

。Gemini
。电子
。30 kV
。Inlense二次电子探测器
。能量选择背散射二次电子探测器(选配)

*直写模式:

。traxx长线条无写场拼接曝光模式
。periodixx周期结构无写场拼接曝光模式

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