Voyager新一代电子束光刻系统

德国Raith Voyager新一代电子束光刻系统

高速且价格合理的电子束光刻机实现精确的曝光效果

对于工业界和学术界所有关注速度和高分辨的电子束曝光应用，我们推荐您选择VOYAGERTM这款专业电子束光刻系统。

Raith非常重视这款具有吸引力的在使用寿命期间具有高性价比、新开发的、创新的eWRITE体系结构。

系统的硬件和软件被一致设计为自动曝光操作，*的高性能图形发生器和电子光学系统优化设计并协同一致。

系统可实现8英寸样品的高速曝光。系统的稳定性是非常关键的指标，可保证大面积均匀曝光。该系统外部采用环境屏蔽罩，即使在稍差的实验室环境下，仍然能确保系统具有非常好的热稳定性，提高系统对外界环境的容忍度。

超高分辨率曝光系统

从最初设计到样品制备完成，实现高速样品加工，提高产量
智能设计：设备占地面积小，且集成环境屏蔽罩
创新的、未来安全型系统架构
专业的电子束曝光系统，可实现每小时1cm2的高速曝光，高性价比

eWrite技术

Raith新推出的eWrite技术结合了专业电子束光刻的光学系统和创新的图形发生器设计，该技术适用于研发及批量生产的所有工作。

VOYAGER 应用

.HSQ胶上制作亚7nm线条

.SU8胶上制作 1x1 cm² 菲涅尔透镜，曝光时间为53分钟，图为菲涅尔透镜中心区域

.PMMA双层胶上制作150nm T型栅结构

.ZEP520胶上制作 1x1 cm²光栅结构，曝光时间小于2小时

高速度模式（40nA束电流下曝光160um大结构）和高分辨模式（0.4nA束电流下曝光10nm细小结构）自动切换

· ZEP520胶上制作光子晶体波导结构

VOYAGER 产品详情

主要应用:

。高速直写
。衍射光学元件
。防伪元件
。批量加工化合物半导体器件

样品台:

。6“ 移动范围
。Z方向移动范围大

电子枪技术:

。eWrite
。电子
。50 kV

*直写模式:

。traxx 长线条无写场拼接曝光模式
。periodixx周期结构无写场拼接曝光模式