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TF500/TF600 适合*研发和试生产的全功能系统

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  • 公司名称深圳市蓝星宇电子科技有限公司
  • 品       牌
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2021/7/17 20:20:15
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司,经过十多年的紫外光专业技术沉淀,可以根据客户特殊要求提供定制化服务,研发设计组装:紫外臭氧清洗机(UV清洗机),准分子清洗机,等离子清洗机/去胶机等科研以及生产设备,拥有自主品牌及注册商标。 同时我们代理欧美日多家高科技设备厂家高性价比产品, 始终坚持创新, 技术, 服务, 诚信的企业文化,为广大中国及海外客户提供的仪器设备和材料的整体解决方案。 应用领域: 半导体/微纳,光电/光学, 生命科学/生物医疗等领域的研发和生产, 客户群体例如高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等。 半导体/微纳,光电/光学 产品主要有: 德国ParcanNano(Nano analytik)针尖光刻机,电子束光刻机, 激光直写光刻机,紫外光刻机,微纳3D打印机,德国Sentech刻蚀机/镀膜机及原子沉积,英国HHV磁控/电子束/热蒸发镀膜机,微波离子沉积机MPCVD,芬兰Picosun原子层沉积机,电子显微镜, 德国Bruker布鲁克原子力显微镜/微纳表征/光谱仪, 美国THERMO FISHER赛默飞光谱/色谱/质谱/波谱仪,美国Sonix超声波显微镜, 德国耐驰Netzsch热分析仪, 德国Optosol吸收率发射率检测仪, 日本SEN UV清洗机/UV清洗灯,美国Jelight紫外清洗机/紫外灯管,德国Diener等离子清洗机等*技术产品。 生命科学/生物医疗 产品主要有:PCR仪,核酸质谱仪/核酸检测仪,电子显微镜,紫外设备,光谱/色谱/质谱/波谱仪,生物芯片,试剂,实验耗材等。 并可依据客户需求,研发定制相关产品。我们以高性价比的优势为客户提供优质的产品与服务,为高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等客户提供仪器设备和材料。
电子显微镜
TF500/TF600 适合*研发和试生产的全功能系统,具有高级工艺能力。系统配置可选择多种腔室尺寸和工艺附件,以精确的符合用户需求。这两个型号的系统都可以安装多个镀膜源,也都支持离子束处理选项。有一系列预进样室(Load Lock)和样品操纵装置可供选择,以提高真空镀膜效率。
TF500/TF600 适合*研发和试生产的全功能系统 产品信息

TF500/TF600 适合*研发和试生产的全功能系统

HHV TF500及TF600系统设计具有高级工艺能力。系统配置可选择多种腔室尺寸和工艺附件,以精确的符合用户需求。这两个型号的系统都可以安装多个镀膜源,也都支持离子束处理选项。有一系列预进样室(Load Lock)和样品操纵装置可供选择,以提高真空镀膜效率。

系统配置不锈钢真空腔室,高真空泵安装在腔室后方。工艺附件布局采用特殊设计,向每个客户提供满意适配化的方案。工艺附件包括热阻及电子束蒸发源、直流及射频溅射源、用于工件刻蚀或辅助沉积的离子源。系统可以同时配置热阻、电子束及磁控溅射源。溅射系统可以配置成向上或向下溅射的结构。工件台选项包括加热、冷却、偏压和预进样操作等。

系统控制选项包括稳定的PLC真空控制系统配合手动操作的工艺附件的简单模式,或者计算机集成控制的自动模式。

关键词:真空泵
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