产品说明
一、 产品开发背景
目前国内的光学3D表面轮廓仪在技术指标上与国外差距较大，且在整机的测量稳定性上也存在一定的差距。由于技术差距，导致了国内高精度的光学3D表面轮廓仪市场一直被国外占领，且形成了价格垄断。SuperView W1 1200 光学3D表面轮廓仪在精度、稳定性方面力求接近进口品牌的水平，在价格和技术上打破国外的垄断，提升了我国在测量领域的测量水平，*我国在表面3D检测的精密光学仪器技术上的空白。
SuperView W1 1200 光学3D表面轮廓仪广泛应用于半导体工艺检测、超精密加工、纳米材料、光学加工、集成电路工艺检测、汽车零部件、机器人、MEMS器件检测、薄膜检测、航空航天、工、科研院所等行业及领域中。可测各类从光滑到粗糙的物体表面，从纳米到微米级别工件的轮廓、线粗糙度、面粗糙度，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
二、 产品图片
产品型号：SuperView W1 1200
产品名称：光学3D表面轮廓仪
三、 产品描述
SuperView W1 1200光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。
SuperView W1 1200光学3D表面轮廓仪只需操作者装好被测器件，在软件测量界面上设置好视场参数，调整镜头到接近器件表面，选择自动聚焦，仪器会对器件表面进行自动对焦并找到干涉条纹，调节好干涉条纹宽度后即可开始进行扫描测量；扫描结束后，软件分析界面自动生成器件3D图像，操作者可通过软件对生成的3D形貌进行数据处理与分析，获取表征器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。
SuperView W1 1200 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法，它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，其*的光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。
系统软件为简体中文操作系统，操作方便。
四、 产品功能
1．行业领域和应用对象
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
应用范例：
半导体.硅晶片表面粗糙度测量 | 集成电路.MEMS元器件 |
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超精密加工.非球面反射面模具 | 精密加工.精密圆弧刀刃缺口测量 |
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精密加工.金字塔型金刚石磁头 | 显示屏.油墨玻璃边缘高度差检测 |
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单刻线台阶高、多刻线粗糙度标准块 | |
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光学器件.微透镜阵列&磨损平凸镜面&棱镜平面 | |
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2．软件功能
(1) 提供多种数据处理方式。
提供校平、镜像、旋转等操作调整图像位置；
提供空间滤波、标准滤波、阈值纠正、去除形状、频谱变换等滤波操作对数据进行修正；
提供提取区域、提取剖面、抽取轮廓等操作获取检测区域。
(2) 提供多种分析工具。
提供距离、台阶高度等要素测量；
提供点、线、圆弧、角度等特征测量，以及直线度、真圆度等形位公差评定，为用户展现强大的轮廓分析功能；
提供基于表面的纹理分析，方便地观察纹理方向与纹理均质性；
提供图形分析、岛屿分析、分形分析、顶点计数、孔的体积等多种有针对性的分析功能；
提供频谱分析功能，可获取幅度和相位信息、平均功率谱密度信息、自相关性等；
提供全面的线粗糙度、面粗糙度的参数分析功能；
提供依据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)计算的2D，3D参数，参见参数表：
表 1：2D参数表
标准名 | 参数 | |||
ISO 4287-1997 |
| 主剖面 | 粗糙度 | 波纹度 |
振幅参数 | Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku | Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku | Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku | |
间距参数 | PSm,Pdq | RSm,Rdq | WSm,Wdq | |
物料比参数 | Pmr,Pdc | Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4) | Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4) | |
峰值参数 | PPc | RPc | WPc | |
ISO 13565 | ISO 13565-2 | Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk | ||
ISO 12085 | 粗糙度图形参数 | R,AR,R× ,Nr | ||
波纹度图形参数 | W,AW,W×,Wte | |||
其他图形参数 | Rke,Rpke,Rvke | |||
AMSE B46.1 | 2D参数 | Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt | ||
DIN EN ISO 4287-2010 | 原始轮廓参数 | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
粗糙度参数 | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr, | |||
波纹度参数 | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
JIS B0601-2013 | 原始轮廓参数 | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
粗糙度参数 | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |||
波纹度参数 | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
GBT 3505-2009 | 原始轮廓参数 | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
粗糙度参数 | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |||
波纹度参数 | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
表 2：3D参数表
标准名 | 参数 | |
ISO 25178 | 高度参数 | Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa |
函数参数 | Smr,Smc,S×p | |
空间参数 | Sal,Str,Std | |
复合参数 | Sdq,Sdr | |
体积参数 | Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv | |
形态参数 | Spd,Spc,S10z,S5p,S5v,Sda,Sha,Sdv,Shv | |
功能参数 | Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq | |
ISO 12781 | 平面度参数 | FLTt,FLTp,FLTv,FLTq |
EUR 15178N | 振幅参数 | Sa,Sq,Sz,Ssk,Sku,Sp,Sv,St |
空间参数 | Str,Std,Sal | |
复合参数 | Sdq,Sds,Ssc,Sdr,Sfd | |
面积体积参数 | Smr,Sdc | |
函数参数 | Sk,Spk,Svk,Sr1,Sr2,Spq,Svq,Smq | |
功能性指标参数 | Sbi,Sci,Svi | |
EUR 16145 EN | 振幅参数 | Sa，Sq，Sy，Sz，Ssk，Sku |
混合参数 | Ssc，Sdq，Sdr | |
功能性指标 | Sbi，Sci，Svi，Sk，Spk，Svk | |
空间参数 | Sds，Std，Stdi，Srw，Srwi | |
硬度参数 | Hs，Hvol，Hv，Hps，Hpvol，Hpv，Hap，Hbp | |
ASME B46.1 | 3D参数 | St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt |
(3) 可视化的工作流模式，数据处理器和结果管理器具有可视工作流程树图，在每个节点既可以是数据处理选项也可以是分析结果。
(4) 多样化的视图观察角度，3D视图可以清晰地查看被测物的每一个特征，并可以在3D视图、2D投影图、等高线图之间任意切换。
(5) 内置多种分析方案，可对特定表面进行一键分析，自动生成一组分析结果，节约操作时间；并可自定义方案，将用户的分析项目组合起来，避免重复操作。
(6) 便捷的同步分析功能，可实时提取表面二维剖面，同步计算更新参数指标，实现对样品的操作所见即所得。
(7) 拥有多种报表形式，用户可根据需要导出分析结果到Word、Pdf等常用办公软件中。
五、 性能特色
1、 高精度、高重复性、高稳定性
1） 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块组成测量系统，保证测量精度高；
2） 精密的Z向扫描模块和*的测量模式，保证测量重复性高；
3） 高性能的内部抗震设计，为测量高稳定性保驾护航。
2、 自动化操作的测量软件
依托人性化设计的测量软件，W1 1200 光学3D表面轮廓仪的操作具备如下特点：
1） 自动聚焦，帮助用户省去繁琐的调节过程；
2） 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
3） 扫描完成后，扫描模块自动跳转初始位置，无须用户手动操作；
4） 自动化测量，依托高精度定位光栅和相应软件模块，针对大尺寸样品可编程进行自动化测量；
3、 功能强大的的XtremeVision Pro版3D形貌分析软件
XtremeVision Pro版3D形貌分析软件，具有如下特点：
1） 分析工具齐全，几何分析、参数分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；
2） 同步分析，测量参数随提取剖面实时变化，实现测量的所见即所得；
3） 一键分析，常用的分析流程可保存为方案，测同种样品一键获取分析结果，提高批量测量效率；
4） 测量参数齐全，可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数；
4、 精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
六、 技术指标
1. 参数指标
光源 | 绿光LED | ||
影像系统 | 1024×1024（2048×2048可选） | ||
干涉物镜 | 10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可选） | ||
光学ZOOM | 1×，（0.5×、0.75×可选） | ||
物镜塔台 | 3孔手动 | ||
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200mm | |
移动范围 | 150×110mm | ||
负载 | 10kg | ||
控制方式 | 电动 | ||
水平调整 | ±4°手动 | ||
Z轴 聚焦 | 行程 | 100mm | |
控制方式 | 电动 | ||
Z向扫描范围 | 2 mm(可扩展) | ||
Z向分辨率 | 0.1nm | ||
扫描速度 | 30μm/s | ||
可测样品反射率 | 0.5%~ | ||
粗糙度RMS重复性 | 0.005nm | ||
台阶测量 | 准确度 | 重复性 | |
0.75% | 0.1% 1σ | ||
注：粗糙度性能参数依据ISO 25178标准在实验室环境下测量Ra为0.2nm硅晶片Ra参数获得；
台阶高性能参数依据ISO 25178标准在实验室环境下测量4.7μm台阶高标准块获得。
光学规格表
物镜倍率 | 2.5× | 5× | 10× | 20× | 50× | 100× | ||
数值孔径 | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 | ||
光学分辨率@550nm（μm） | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 | ||
焦深（μm） | 48.6 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 | ||
工作距离（mm） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 | ||
视场 H×V (mm) | 影像系统 1024×1024 | 0.5× | 3.84×3.8 | 1.92×1.92 | 0.96×0.96 | 0.48×0.48 | 0.192×0.192 | 0.096×0.096 |
0.75× | 2.56×2.56 | 1.28×1.28 | 0.64×0.64 | 0.32×0.32 | 0.128×0.128 | 0.064×0.064 | ||
1× | 1.92×1.92 | 0.96×0.96 | 0.48×0.48 | 0.24×0.24 | 0.096×0.096 | 0.048×0.048 | ||
影像系统 2048×2048 | 0.5× | 8.96×8.96 | 4.48×4.48 | 2.24×2.24 | 1.12×1.12 | 0.448×0.448 | 0.224×0.224 | |
0.75× | 6.44×6.44 | 3.22×3.22 | 1.61×1.61 | 0.805×0.805 | 0.322×0.322 | 0.161×0.161 | ||
1× | 4.48×4.48 | 2.24×2.24 | 1.12×1.12 | 0.56×0.56 | 0.224×0.224 | 0.112×0.112 | ||
2．仪器尺寸（长×宽×高）： 主机：900×700×604mm；
3．仪器主机重量：小于90Kg；
4．使用环境：无强磁场，无振动，无腐蚀气体
工作温度：15℃ ~30℃，温度梯度 < 1℃/15分钟
相对湿度：40-60%，无凝结
七、 相对湿度：40-60%，无凝结产品配置清单
标准配置：
1) 白光干涉测量仪主机 1台；
2) 干涉物镜：10× ；
3) XY自动工作台 1台；
4) 台阶样块及粗糙度标准块1套；
5) XtremeVision Pro测量软件1套；
6) 品牌计算机1套；
7) HP激光打印机1台（型号随HP厂家变更而变更）；
8) 仪器配件箱1个；
9) 电气控制箱1个；
10) 加压装置1套；
11) 产品使用说明书1套；
12) 产品合格证、保修卡1套；
13) 免费保修1年。
可选配置：
1） 干涉物镜：2.5×、5×、20×、50×、100×；
2） 影像系统：2048×2048；
3） 操作手柄1个；
4） T形槽圆形旋转工作台；
八、 产品配置清单
标准配置：
1) 白光干涉测量仪主机 1台；
2) 干涉物镜：10× ；
3) XY自动工作台 1台；
4) 台阶样块及粗糙度标准块1套；
5) XtremeVision Pro测量软件1套；
6) 品牌计算机1套；
7) HP激光打印机1台（型号随HP厂家变更而变更）；
8) 仪器配件箱1个；
9) 电气控制箱1个；
10) 加压装置1套；
11) 产品使用说明书1套；
12) 产品合格证、保修卡1套；
13) 免费保修1年。
可选配置：
1） 干涉物镜：2.5×、5×、20×、50×、100×；
2） 影像系统：2048×2048；
3） 操作手柄1个；
4） T形槽圆形旋转工作台；
九、交货与验收
1、 交货
1）交货期：合同生效后60个工作日内。
2）交货地点：免费快递到需方的交货地点。
2、 安装与培训
1）我公司负责在用户现场对设备行进安装和调试；
2）在设备安装调试时对买方技术人员进行理论、实际操作及维修等的培训，使用户技术人员掌握设备操作，能熟练使用设备进行检定工作，保证设备正常运行并能排除设备的一般故障和特殊保养。
3、 验收
1）验收标准：以合同及技术协议为准。
2）验收项目：核对该设备的主机及附件、工具的数量及规格应符合合同技术协议及设备使用说明书的要求；核对该设备的使用说明书等各类资料是否齐全，是否满足技术协议要求。
3）在合同验收和合同执行过程中，如有任何影响设备的性能的漏项和短缺，如设备附件、技术资料、使用手册、专用工具，备品备件、服务及技术指导等，我公司负责免费将漏项和短缺补齐。
4）验收合格后，双方签定《产品验收报告》。
5） 产品外观以实物为准。
十、售后服务
1、 设备质保期
1）验收合格双方签定《产品验收报告》后12个月内；
2）在质保期内发生的故障，其故障部分质保期自修复之日起顺延。
2、 售后服务内容
1）质保期内：实行“三包”，用户所购设备各部件发生非人为故障，我司免费更换同种品牌不低于原价位、规格、型号的部件。
2）质保期后：我公司提供持续的优惠服务和技术支持，设备出现故障需要修理时，所换零件按成本价收取。软件随国家规程变更免费升级，硬件优惠升级。
3）排故响应时间：我司在接到报障信息后，2小时内回应，我司通过电话、及邮件的方式指导买方排除故障；若故障仍不能排除，将在72小时内上门调试维修排故或用户将仪器发回本公司维修。
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