气体放电与等离子体诊断仪

从而利用该装置可实现的主要实验内容有：

1. 气体放电下放电管的V-I特性

2. 放电管内辉光放电外型图

3. 等离子体分析

通过上述实验应使学生充分理解的知识点包括：

1. 汤生放电原因以及过程

2. 帕刑定律以及着火电压

3. 放电管的V-I 特性及原因

4. 辉光放电的外型及解释

5. 空间电荷及等离子体

6. 等离子体空间电位

7. 等离子体悬浮电位

8. 等离子体密度(电子密度=离子密度)

9. 电子温度

10. 朗缪尔探针(单探针)进行等离子体诊断的理论

主要技术参数：

1.设备尺寸：850×500×1700 mm，可移动；

2.电源特性：220V AC，50Hz；

3.总功率：500W；

4.工作压力范围：20~80Pa，可调；

5.放电电流范围：0~5mA；

6.放电管尺寸：φ35×300mm2；

7.放电电压范围：0~1300V；

8.电极：φ30圆盘电极，304不锈钢，极间距可调；

9.朗缪尔探针：φ0.2mm，长10mm，钨丝；

10.探针驱动电压：-100V~100V

11.探针电流：0~1000uA

12.极限真空：<1 Pa，<2 min

13.环境要求：-30~40℃，干燥清洁