FS-Pro半导体参数测试仪

FS-Pro半导体参数测试仪（I-V测试，C-V测试，1/f噪声测试）

产品特点

√     一体化测试

FS-Pro™集成直流测试，脉冲测试，瞬态测试，电容测试和低频噪声(1/f 噪声) 测试于单台仪器中，无需换线和重新探针即可完成全部低频参数化表征。

√ 超快速

FS-Pro™引入人工智能驱动测试技术，相比传统半导体参数测试系统其测试速度可达10倍，在强大速度提升的同时仍保持测试精度。

√ 模块化架构

FS-Pro™采用模块化架构，在保持紧凑机身的同时又可依照需求扩展，并且支持多通道并行测试，可达20路通道，轻松应对高密度生产测试。

√ 操作便捷

内置测量控制软件LabExpress™拥有直观的用户图形界面，仅需点击几下鼠标就可以完成强大的测试分析功能，同时可以支持多种探针台和矩阵开关等设备，轻松完成晶圆级数据的自动测试任务，更针对半导体制造提供了完善的解决方案。

√ 特色的1/f噪声测试能力

特别对*制程器件，二维材料器件，光电探测器的测试应用，1/f噪声作为器件的本征重要参数之一，1/f噪声性能制约着器件的实际应用能力，1/f噪声广泛地存在于各种组分和结构的半导体器件中，同时又敏感的反映材料和器件的许多潜在缺陷，因此1/f噪声的测量和分析成为评估半导体器件质量表征和可靠性的一种新手段。

主要组件性能指标

FS380高精度源测量单元SMU

●   直流测试

±200V/1A 量程，20W输出功率，最小30fA电流测量精度，30uV电压测量精度，四象限操作

● 脉冲测试

±200V/3A 量程，480W输出功率，最小5pA电流测量精度，30uV电压测量精度，最小脉冲宽度50us

● 瞬态测试

任意波形输出，采样率1.8MS/s，最小10us时间步进

● 电容测试（CV）

±200V/1A 量程，10Hz-10kHz带宽，20fF~1mF测量范围

● 1/f噪声测试

带宽0.1Hz-100KHz，1e-28A^2⁄Hz 本底噪声，200V Bias，8s/bias测试速度；

FS336 外置LCR模块

● 电容测试（CV，CF）

● ±40V量程，40Hz~8MHz带宽

● 100fF~10mF测量范围

Labexpress图形化测试软件

LabExpress™量测软件提供完整的直流，脉冲，瞬态，电容和噪声测试功能，内建常见MOSFET，BJT，二极管，电阻，电容器件类型库，测试类型丰富齐全，没有器件知识的新人也可以轻松上手，更针对半导体晶圆厂的日常应用提供了一整套解决方案。在测试数据分析功能上LabExpress™也毫不逊色，丰富的曲线变换与绘图功能，常用的代数运算操作，使即时结果分析变得更加简单。

业界使用情况

在工业领域，FS-Pro™已经被多的设计公司和半导体代工厂，IDM和设计公司采用，精度，速度和可靠性通过了严苛的工业认证。在科研领域，FS-Pro™ 已被数十所大学及研究机构所采用，至今已经支持了数十篇学术论文的发表。低频噪音作为一种有效的非损伤性实验手段越来越被学者们认可，FS-Pro™作为的集成噪音测试功能的半导体参数分析仪在前沿新材料新器件研发工作中越来越*。