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AE质量流量控制器 气体流量计

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市利方达科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号7700 7800
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/8/6 9:27:00
  • 访问次数494
产品标签:

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深圳市利方达科技有限公司由留德博士钱锋创建于2002年,是一家集真空产品研发,生产及贸易以及维修服务为一体的企业集团 ,公司目前集中了一批多年从事真空和真空镀膜专业的技术人员和经验丰富的市场销售人员,力致于为客户提供更优质的产品与服务。 主要业务包括代理销售国外产品:美国英福康(Inficon)的石英晶体膜厚控制仪,氦质谱检漏仪,四极质谱残余气体分析仪,各种真空计,真空阀门; 美国Brooks的低温泵,真空计;日本日立公司的质量流量计(原美国AE公司的FC7700CD系列流量计),日本Horiba的质量流量计,美国安捷伦Agilent(原瓦里安)公司的英国爱德华公司分子泵,机械泵,干泵,真空计,检漏仪,各种真空阀门和检漏系统; 美国泰利玛科公司(Telemark)的电子枪和光学膜厚控制仪等;美国安斯超科学公司(Angstrom)的磁控溅射阴极,溅射靶材;美国薄膜中心 (Thin film center)的核心麦克劳德(Essential Macleod)光学薄膜分析与设计的软件,美国Extorr公司的四极质谱等产品。 
质谱仪
...
AE质量流量控制器 气体流量计 产品信息

美国AE公司 质量流量计(FC-7700系列)

优点:高性价比

响应速度快:小于2

的可靠性:使用一年以上,零点漂移小于满量程的0.5%

易于集成:标准接头和尺寸

出众的效果:高品质膜层与蚀刻特性

 

特性

非金属密封

VCR连接

量程范围从10SCCM150SLM

常闭或常开式电磁阀

允许清洗流量:高达校准值的100

漏率1×10-6 atm-cc/()

 

型号参数:

类别

FC-77007700C7700CD7700CU

FC-77107710C7710CD7710CU

FC-77207720C7720CD

满量程范围

10sccm5slm

620slm

35150slm

2050slm

响应时间

到达设定点±2%所需时间<2

到达设定点±2%所需时间<3

精度

满量程±1%范围内

满量程±2%范围内

线性度

满量程±0.5%范围内

满量程±0.5%范围内

满量程±1%范围内

满量程±1%范围内

重复精度

满量程±0.2%范围内

漏率

1×10-6 atm-cc/()

控制范围

满量程的5

压差

740 psi

1040 psi(5172069)

2140 psi(10862069)

(3622069)

1440 psi(7242069)

正常工作压力

50 psi(2586)

入口压力

150 psi(7740)

温度范围

545

 

注:可根据不同客户的需求,选择全金属密封的FC-7800CD系列,数字型的FC-D770系列,全金属密封及数字型的FC-D980系列。


关键词:电磁阀
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