曼戈斐集团(以下简称MEGPHY)成立于2011年,是一家专业从事光学测量仪器销售和技术支持的公司。公司由具备多年行业经验应用工程师、技术工程师和营销专员组成,致力于为用户提供高效、精准的解决方案,并提供包括产品测试、产品咨询、装机调试及培训、售后维护保养及升级等服务。我们坚持以为广大客户提供优质的产品和售后服务为企业信念,客户来自包括半导体、3C、摄像头模组、汽车工业、新能源技术、印刷和造纸工业、国防安全、医疗器械、机械加工技术以及新材料研究等众多领域。 MEGPHY专注于标准化产品以及定制化的解决方案,我们同众多光学厂商合作,包括德国Mahr、美国SOLARIUS、德国ZEISS、日本Nikon、法国CSI等,产品涵盖3D共聚焦显微镜、3D线扫描轮廓仪、扫描电镜、原子力显微镜、工业CT、X-RAY、光学元件测量工作站、CNC全自动影像测量仪、三坐标、工业光学显微镜、SMT基板清洁机等。我们坚持本地化、定制化方针,为中国制造业客户提供专业性的解决方案。我们充分了解客户要求和预算,深入整合光学技术和定制化的数据获取、数据分析软件,最终给客户提供高精度、高效率、高性价比的三维尺寸测量系统。我们的产品将高分辨率传感器与自动化数据获取、强大的分析软件结合在一起,为客户提供包括实验室精密检测、快速高精度半自动生产线检测以及大批量自动上下料在线检测等多种解决方案。截至目前我们已在中国安装了超过2800台设备,感谢你们的信赖和支持,MEGPHY将持续为更多的新老客户提供优质的服务。
金相显微镜
中图SuperView W1光学3D表面轮廓仪 数码显微镜 产品信息
一、 产品描述
SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
系统配置:
影像系统:1024×1024(2048×2048,2592×1944可选)
光学Zoom:1×,(0.75×,0.5×可选)
干涉物镜:2.5×,5×,10×,20×,50×
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电控
XY横向分辨率:≤0.4μm
Z轴行程:≥100mm
Z向分辨率:0.1nm
单次Z向扫描范围:10.3mm,厚度重复性≤1nm
Z向扫描速度:≥45μm/s
可测样品高度:≥100mm
可测样品反射率:0.05%-
水平调整:±5°
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度<0.7%,重复性<0.1% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效
二、产品功能
1)具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能;
2)具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能,粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别;
3)具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能;
4)具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能;
5)具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能;
6)具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能;
7)具备word、excel等数据报表导出功能。
三、应用领域
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
四、性能特色
1.高精度、高重复性
1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;
2)*的隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得*的测量重复性。
2.一体化操作的测量分析软件
1)测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;
2)可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;
3)结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程;
4)几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;
5)一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能;
6)可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
3.精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
4.主动式隔振台
具备空间6自由度的检测和平衡控制,气浮自适应模式,能有效隔离2HZ以上振动噪声,其中2HZ=15dB噪声隔振效果达到90%,5HZ=28dB噪声隔振效果达到97%,10HZ=40dB噪声隔振效果达到99%;承重≥150kg。
5.持续的功能优化
围绕客户需求进行持续的软硬件升级优化,定期更新软件版本进行升级,提供适度的功能定制服务。
6.双重防撞保护措施
除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,限度的保护仪器,降低人为操作风险。
关键词:传感器