1KW自动匹配器(带显示)
由国内外提供技术,国内生产的GMPOWER品牌射频自动匹配器,广泛适用于等离子刻蚀体、镀膜、清洗、等离子体增强、感应加热以及太阳能制造设备PECVD制造中,具有功率覆盖范围大(50W-5KW)、匹配时间短(≤3秒)、指示功能全、操作简单等优势,可通过数字接口实施计算机数据采集和控制,轻松实现时入射功率、反入射功率、直流偏压等的精确测量。该匹配器与电源*独立,可配置AE、COMDEL、MKS、微电子中心等多家品牌的射频电源,限度节约射频系统成本.
产品描述
*功率:600W/、1KW 频率:13.56MHz
*系统采用高速配算法,即使系统处于高Q值也可在接近匹配点时减速,达到精确匹配效果
*标准配置采用可调的L型匹配网络,满足绝大部分负载要求,也可根据客户负载阴抗设计配置匹配网络,实现自动匹配
*内置数字功率计,可现实入射功率、反射功率、指示精度3%,有效弥补国内电源功率指示不标准问题
1Kw有显示 | |||
电源输出 | AC180-240V 50Hz | 冷却方式 | 强制风冷 |
输出电流 | 0.5A | 机箱尺寸 | 450mm(长)*320mm(宽)*133.5(高) |
射频功率范围 | 0-1KW | 面板尺寸 | 480mm(长)*140mm(高) |
射频工作频率 | 13.56MHz | 重量 | 8kg |
射频输入接头 | N型或UHF型 | ||
射频输出接头 | N型/UHF型/铜带型 | ||
用户接口 | DB15针接口,采用RS232、RS485通讯协议 |