扫描电镜等离子清洗机

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公司名称华仪行（北京）科技有限公司
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厂商性质其他
更新时间2021/9/30 13:40:01
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公司介绍主营产品

CIF来源于美洲，服务于中国，是一家集实验室仪器设备研发、制造、销售、服务、产品应用为一体的专业化集团公司，在半导体技术和无机样品前处理技术领域为客户提供*的、高品质的实验仪器设备和应用工艺解决方案。CIF中国总部坐落于北京国际企业孵化中心(IBI)，系国家j。CIF中国公司具有自主进出口权，企业通过 ISO9001-2008质量管理体系认证，全系列产品通过CE认证，并获得多项国家专l。

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产品简介在线询价

CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计，并可自动切换，一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。主要参数：CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计，并可自动切换，一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主......

扫描电镜等离子清洗机产品信息

产品特点

v 双等离子清洗源

v 一机多用

v 高效低损伤

技术参数

产品型号	CIF-SEM
法兰接口	KF40
工作气压	0.3-3Pa
等离子电源	13.56MHz射频电源，射频功率5-100W可调，自动匹配器
气体控制	标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响
气源选择	根据需求可选择氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源
真空控制	美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr
真空保证	真空计和电磁阀安全互锁
操控方式	7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面
电源/功率	220V，50/60Hz，300W
可选配件	可选氧气、氮气、氢气发生器，氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min
质量保证	二年质保，终身维护