在线式电子抗蚀剂浓度监测仪

电子抗蚀剂（Electron resist）是用于电子束曝光的一种抗蚀剂，属于高分子聚合物，其性能类似于光学曝光中的光致抗蚀剂，即辐照可使其产生化学或物理变化而形成图形。有正性电子抗蚀剂和负性电子抗蚀剂之分。一般，负性电子抗蚀剂的曝光灵敏度比正性电子抗蚀剂的要高得多，但正性电子抗蚀剂的分辨率要高于负性电子抗蚀剂。

三联测控MSDR-SH型在线式电子抗蚀剂浓度监测仪是基于折光原理开发的一款高精度的在线式浓度测量仪器，在线测量溶液浓度稳定性好，精度高，检测不受物料的颜色、浊度、粘度的影响；不受物料中气泡、固体杂质、结晶体的影响；不受液体压力变化、流量突变、湍流现象影响；可适用于管道安装或罐体壁处的安装，以及其它等多种安装方式，具有操作简单方便、维护量少、工作可靠等特点。传感器采用用先进的光学器件，一体式设计，光电信号直接转换处理，具备高精度的自动温度补偿功能，保证了工艺过程严格按照工艺方案执行。可视化、智能化，实时的浓度监测和控制，可显著提高产品品质，提升工作效率，提高企业管理水平和生产工艺控制能力。

MSDR-SH型在线式电子抗蚀剂浓度监测仪主要技术参数：

出厂校准和自动温度补偿，直接投入使用，无需现场校准

测量范围 浓度0.0-51.0%

分辨率 浓度 0.1%   温度 0.1℃

测量温度 5-60℃（温补）

测量精度 ±0.1%    环境温度 -20.0-60.0℃

温度±0.5℃        耐压 1.0MPa

测量时间 默认 5 秒测量 1 次    防护等级 测量部分IP67

安装方式 螺纹，法兰盘，卡盘等。支持定制。

输出 模拟输出：24V 4-20mA    数字输出：RS485

可定制其他输出方式。

输入 DC +24V±10% 电流<100mA

选购件：自动清洗装置，采用压缩空气或高压水及超声波自动清洗棱镜表面，适用于较脏的液体，防止污垢附着，确保测量精度