特点:
出色的测量范围和分辨率
◆凭借高达12.5mm的垂直传感器测量范围（标准60mm测针）和 0.8nm的分辨率，使得PGI仪器不但具有满足各种测量形状和轮廓的测量要求，还能提供测量表面粗糙度所需的分辨率。
获得的标定技术
◆采用标定技术，可以一次测量全自动完成全量程系统标定，简单、快速及准确。直观的数值和图形显示，使用户可以确信校准结果和后续测量结果正确无误。
200mm驱动箱，直线度为0.125μm
◆高精度的直线度减少测量系统叠加在工件真实表面造成得仪器误差。经过精密配衍加工基准轴为所有轮廓测量提供基准；
0.125μm高密度横向数据间隔
◆实现零件轮廓的精确再现离不开高密度的数据采集。凭借值为 1,600,000个数据点和0.125μm的数据间隔，大型和小型零件均能得到非常精确的测量结果。
低系统噪音 (2nm)
◆低噪音的完整系统提供了此类型仪器无法超越的粗糙度测量功能
450mm机动立柱
◆机动立柱可提供高精密位置控制以及大尺寸工件测量能力。可通过操纵杆手动控制，也可以通过计算机执行全面的系统编程。
技术参数:
| 水平轴性能 | 400 | 800 | 1200 |
| 驱动长度X/最小 | 120毫米/0.1毫米 | 200毫米/0.1毫米 | |
| 测量速度 | 0.1毫米/秒, 0.25毫米/秒,0.5毫米/秒和1毫米/秒 | ||
| 驱动速度 | 0.1-10毫米/ 秒 | ||
| X轴数据采样间隔 | 120毫米长度上0.125微米 | 200毫米长度上0.125微米 | |
| 数据点 | 960,000 | 1,600,000 | |
| 直线度误差[Pt](X=长度) | 0.35微米/120毫米 | 0.35微米/200毫米 | 125纳米/200毫米 |
| 基准面校正 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 垂直性能 | 400 | 800 | 1200 |
| 标称量程(Z) | 4毫米[60毫米测杆] | 8毫米[60毫米测杆] | 12.5毫米[60毫米测杆] |
| 分辨率(Z) | 12.8纳米@4毫米范围 | 3.2纳米@8毫米范围 | 0.8纳米@12.5毫米范围 |
| 量程与分辨率之比 | 312,500:1 | 2,500,000:1 | 15,625,000:1 |
| 测杆长度，针尖尺寸，测量力 | 臂长60毫米,金刚石测针半径2微米,力度1mN，120毫米arm,0.5毫米半球,力度20mN | ||
| Z轴非线性(Z=传感器位移) | (0.07+0.03Z[毫米])微米-校正后 | ||
| Z轴重复性(平面表面，金刚石测针) | 0.1微米 | 0.15微米 | |
| Z轴重复性(弯曲表面-金刚石测针) | 0.8微米 | 0.16微米 | |
| Z轴重复性(弯曲表面-球形测针) | 0.12微米 | ||
| 系统性能 | 400 | 800 | 1200 |
| 校正值Pt | 0.15微米 | 0.2微米 | |
| 人工校准球[精度] | 80毫米标称半径校准玻璃标准器[5微米] | ||
| 系统噪音-Rq | 典型值5纳米 | 典型值3纳米 | 典型值2纳米 |
| 半径测量不确定性 | 0.1-80毫米=标称值的1到0.005%，80-1000毫米=标称值的0.005到0.1%，1000-2000毫米=标称值的0.1% | ||
| 倾角测量不确定性 | 0.5弧分不确定性(+/-35°范围) | ||
| 大小（长x宽x高） | 900x880x1750毫米 | ||
| 机动立柱 | 450毫米垂直移动 | ||
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