规格：
型号 | RA-H5200 CNC | ||||
Z轴立柱 | 标准立柱 | 高立柱 | |||
(垂直移动: 300mm) | (垂直移动: 500mm) | ||||
旋转工作台 | 旋转精度(JIS B 7451-1997) | 径向 | (0.02+3.5H/10000)μm H: 为测量高度 (mm) | ||
轴向 | (0.02+3.5X/10000)μm X: 到旋转工作台轴的距离 (mm) | ||||
旋转速度 | 2, 4, 6, 10rpm (自动定心: 20rpm) | ||||
工作台有效直径 | Φ300mm | ||||
调心范围 | ±5mm | ||||
调水平范围 | ±1o | ||||
台面承重 | 80kg (自动定心: 65kg) | ||||
测量直径 | Φ356mm | ||||
工件直径 | Φ680mm | ||||
垂直移动(Z轴立柱) | 移动直线度(λc2.5) | 窄范围 | 0.05μm/100mm | ||
宽范围 | 0.14μm/350mm | 0.2μm/550mm | |||
与转台轴平行度(母线要素基准) | 0.2μm/350mm | 0.32μm/550mm | |||
移动范围 | 350mm | 550mm | |||
定位速度 | : 60mm/s (测量时: 0.5, 1, 2, 5mm/s) | ||||
检测高度 | 350mm | 550mm | |||
检测深度(使用标准测头时) | Φ32×104mm (深度), Φ12.7×26mm (深度) | ||||
X轴 | 直线度 (λc2.5) | 0.4μm/200mm | |||
与转台轴垂直度 (母线要素基准) | 0.5μm/200mm | ||||
移动范围 | 225mm (–25mm ~ +200mm 转台中心) | ||||
定位速度 | : 50mm/s (测量时: 0.5, 1, 2, 5mm/s) | ||||
检出器 | 测力 | 约 40mN | |||
标准测头, 材质 | Φ1.6mm 硬质合金 | ||||
范围 | 标准 | ±400μm/±40μm/±4μm | |||
跟踪 | ±5mm | ||||
其他 | 旋转机构 (0? ～ 270? 的范围内以1? 增量旋转) | ||||
其他 | 气压 | 0.39MPa | |||
空气消耗量 (标准状态) | 45L/min (120L/min 以上气源) | ||||
重量 | 测量主体 | 650kg | 670kg | ||
防震台架 | 170kg | ||||
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