规格：
货号 | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
X1 轴 | 测量范围 | 200mm | ||
分辨力 | 0.00625μm | |||
长度基准 | 激光全息测微计 | |||
驱动速度 | CNC型 | 40mm/s | ||
操纵杆 | 0 - 40mm/s | |||
测量速度 | 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形状/轮廓) | |||
测量方向 | 向前/ 向后 | |||
直线度 | (使用标准测针) | (0.1+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) | (0.05+0.0003L)μm L: 驱动长度 (mm) | |
(使用二倍长型测针) | (0.2+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) | (0.1+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) | ||
精度 (20oC) | ±(0.3+0.002L)μm L: 驱动长度 (mm) | ±(0.16+0.001L)μm L: 驱动长度 (mm) | ||
Z1 轴 (检出器) | 测量范围 | (使用标准测针) | 12mm | 12μm |
(使用二倍长型测针) | 24mm | 24μm | ||
分辨力 | (使用标准测针) | 0.004 μm | 0.001 μm | |
(使用二倍长型测针) | 0.008 μm | 0.002 μm | ||
测针针尖垂直运动 | 弧形移动 | |||
长度基准 | 激光全息测微计 | |||
精度 (20oC) | (20oC) ±(0.3+|0.02H|)μm H: 测量高度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)μm H: 测量高度 (mm) | ||
测力 | (使用标准测针) | 4mN (固定) | ||
(使用二倍长型测针) | 0.75mN(固定) | |||
跟踪角度 | 向上: 60o, 向下: 60o, (根据表面粗糙度) | |||
测针针尖形状 | 标准测针 | 针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 | ||
标准球头测针 | 球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 2倍测针 | |||
2倍测针 | 针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 | |||
2倍测针 | - | 针尖角度: 60o, 针尖半径: 2μm, 金刚石针尖 2倍球头测针 | ||
2倍球头测针 | 球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 | |||
测针方向 | 向下 | |||
Z2 轴 (立柱) | 行程范围 | Z2 轴 (立柱, S 型) | 300mm | |
Z2 轴 (立柱, H 型) | 500mm- | |||
分辨力 | 0.05μm | |||
长度基准 | 反射型线性编码器 | |||
驱动速度 | CNC型 | 200mm/s | ||
操纵杆 | 0 - 50mm/s | |||
基座尺寸 (W×D) | 750×600mm | |||
基座材料 | 花岗岩 | |||
注:虽然天然石材测量桌的外观各有不同，但材料的稳定性是值得信赖的。
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